[实用新型]亚微米约瑟夫森隧道结有效
| 申请号： | 201820593243.4 | 申请日： | 2018-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN208078023U | 公开（公告）日： | 2018-11-09 |
| 发明（设计）人： | 张雪;张国峰;王永良;荣亮亮;王镇;谢晓明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | H01L39/02 | 分类号： | H01L39/02;H01L39/24 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微米线条 绝缘层 约瑟夫森结 衬底 本实用新型 顶电极 上表面 势垒层 隧道结 开口 十字交叉连接 边缘效应 底电极 过渡处 漏电流 微米线 叠置 覆盖 暴露 延伸 | ||
1.一种亚微米约瑟夫森隧道结，其特征在于，包括：
衬底；
约瑟夫森结，位于所述衬底的上表面，所述约瑟夫森结包括由下至上依次叠置的底电极、势垒层以及顶电极，其中，所述顶电极包括第一亚微米线条及第二亚微米线条，所述第二亚微米线条位于所述第一亚微米线条上方，且与所述第一亚微米线条呈十字交叉连接；
第一绝缘层，覆盖所述势垒层及所述约瑟夫森结周围的所述衬底，且所述第一绝缘层至少暴露出所述第一亚微米线条；
第二绝缘层，覆盖于所述第一绝缘层的表面，所述第二绝缘层内形成有暴露出所述第一亚微米线条的第一开口，所述第二亚微米线条与所述第一开口内的所述第一亚微米线条相接触，并延伸至所述第二绝缘层的上表面。
2.根据权利要求1所述的亚微米约瑟夫森隧道结，其特征在于，所述第一亚微米线条的宽度小于所述势垒层的宽度及所述底电极的宽度，且所述势垒层的宽度与所述底电极的宽度相同。
3.根据权利要求1所述的亚微米约瑟夫森隧道结，其特征在于，所述第一亚微米线条的厚度与所述底电极的厚度相同；所述第一绝缘层的厚度与所述第一亚微米线条的厚度相同。
4.根据权利要求1所述的亚微米约瑟夫森隧道结，其特征在于，所述底电极包括功能区域及与所述功能区域相连接的底电极引出区域；所述第一绝缘层还暴露出所述底电极引出区域，所述第二绝缘层内还形成有暴露出所述底电极引出区域的第二开口；所述亚微米约瑟夫森隧道结还包括底电极引出电极及顶电极引出电极，所述底电极引出电极与所述底电极引出区域接触连接，所述顶电极引出电极与所述第二亚微米线条相连接。
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