[实用新型]一种基于MEMS微镜激光测距传感器

说明书

本实用新型涉及一种基于MEMS微镜激光测距传感器，包括：激光发射单元，光斑整形元件，MEMS微镜模组，发射结构件，接收镜头，接收模组，连接结构件，控制单元；其中，激光发射单元发射激光，经过整形透镜整形，通过发射结构件对MEMS微镜进行调节，使发射光斑照射到MEMS微镜中央，提高调节精度和调节效率，连接结构件、发射组件和接收镜头经过形状配合定位保证组装精度，通过控制单元进行发射、扫描和接收实现激光测距功能。

技术领域

本实用新型属于激光测距技术领域，具体来说，涉及到一种基于MEMS微镜激光测距传感器。

背景技术

激光扫描测距雷达能够用于检测目标的位置，轮廓和速度，激光测距雷达的应用领域逐步在拓展，精确测量、导航定位、安全避障，并开始应用于无人驾驶技术。激光扫描雷达是将发射的激光束通过旋转扫描发射形成扫描截面，从而测试出待测物的特征信息。

目前激光扫描雷达有二维扫描激光雷达和三维扫描激光雷达。其中基于MEMS微镜的激光测距传感器正在被争相研发，该传感器可以实现小体积，轻重量，减小功耗和成本的基础上提高激光测距传感器的分辨率，通过使用控制电压和相位实现振镜扫描，完成激光测距传感器的扫描发射。MEMS微镜体积小，光源反射面积也小，边缘振动臂会反光，将聚焦发射光源调节到MEMS微镜中央，避免杂散光影响扫描测距，因此需要对MEMS微镜模组进行精确调节并进行紧固。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种基于MEMS微镜激光测距传感器。

一种基于MEMS微镜激光测距传感器，其特征在于，包括激光发射单元，光斑整形元件，MEMS微镜模组，发射结构件，接收镜头，接收模组，连接结构件，控制单元，控制单元用于控制发射、扫描和接收实现激光测距功能。

优选的，所述光斑整形元件为一组透镜和衍射光学元件组合体。

优选的，所述光斑整形元件为一组透镜和微透镜阵列组合体。

优选的，MEMS微镜模组是MEMS微镜和电路板组合体，或者是MEMS微镜和机械结构件封装的方形组合体。

优选的，MEMS微镜模组是MEMS微镜和电路板组合体，所述发射结构件为30-60°楔形斜面，中间留有光路和MEMS微镜的狭槽，狭槽和MEMS微镜外框形状进行配合，同时配有压住MEMS微镜模组的压板。

优选的，所述压板是和发射结构件斜面角度相同的结构件，一端留有紧固在发射结构件上的孔，一端留有用于压紧MEMS微镜模组的螺纹孔。

优选的，MEMS微镜模组是MEMS微镜和机械结构件封装的方形组合体，发射结构件是和MEMS微镜模组配合的槽体，底面为平面，槽体侧面边缘有穿过螺钉的狭槽或者螺孔。

优选的，所述连接结构件和发射组件、接收镜头通过形状配合保证精度。

附图说明

图1是基于MEMS微镜的激光测距传感器具体结构示意图。

图2是实施例1中的基于MEMS微镜的激光测距传感器发射单元剖面示意图。

图3中的图(a)和(b)分别是实施例1和实施例2中的MEMS微镜两种封装形式的示意图。

图4是实施例1中的发射结构件和压板结构件示意图。

图5是实施例2中的发射结构件的结构示意图。

图6是连接结构件的结构示意图。

附图标记说明：

激光发射单元1、MEMS微镜模组2、发射结构件3、连接结构件4、接收镜头5、接收模组6、光斑整形元件7、压板8。

具体实施方式