[实用新型]一种实时监测晶圆偏移的半导体机械手末端执行器

说明书

本实用新型涉及一种实时监测晶圆偏移的半导体机械手末端执行器，所述末端执行器包括手指和固定架，所述固定架朝向手指夹持部的一侧设置有位置传感器。该末端执行器通过在手指上加装传感器实时监测晶圆位移状态，一旦发生偏移会马上报告上位机，进行下一步调整，从而避免了由于晶圆偏移而使后续工艺无法进行的问题。

技术领域

本实用新型涉及机器人技术领域，具体涉及一种实时监测晶圆偏移的半导体机械手末端执行器。

背景技术

机械手被称为最早期的工业机器人，能模仿人手和臂的某些动作功能，用以按固定程序抓取、搬运物件或操作工具的自动操作装置。在集成电路、芯片制造等半导体行业中，大量使用机械手运送传输硅片晶圆。硅片传输机械手是半导体工艺链中硅片传输和定位的核心设备，直接影响工艺质量和生产效率。

机械手的端部称为末端执行器。现有技术中的末端执行器通常以真空吸附方式抓取晶圆。由于机械手运行速度快，会产生较大离心力或由于真空气道压力不够，使得晶圆在搬运过程中会相对于手指发生偏移，导致后续工艺由于晶圆偏移无法准确定位而无法进行，同时缺乏有效监测手段判断晶圆是否发生偏移。

有鉴于此，当前需要对末端执行器的设计进行进一步改进，以使末端执行器可以有效检测晶圆在搬运过程中是否发生偏移，从而使后续工艺不因晶圆产生偏移无法准确定位而无法进行。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种实时监测晶圆偏移的半导体机械手末端执行器，该末端执行器通过在手指上加装传感器实时监测晶圆位移状态，一旦发生偏移会马上报告上位机，进行下一步调整，从而避免了由于晶圆偏移而使后续工艺无法进行的问题。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案为一种实时监测晶圆偏移的半导体机械手末端执行器，所述末端执行器包括手指和固定架，所述手指包括前端夹持部和后端连接部；所述固定架固定连接在手指连接部，其中，所述固定架朝向手指夹持部的一侧设置有位置传感器。

所述位置传感器可以实时监测晶圆位移状态，例如实时监测0.1mm到2mm的晶圆偏移并可发出反馈信号，报告上位机晶圆状态，以进行下一步调整，从而避免了由于晶圆偏移而使后续工艺无法进行的问题。

进一步的，所述固定架伸出手指连接部两侧；所述位置传感器为两个，且分别位于固定架伸出手指连接部两侧的端部。通过手指连接部两侧的两个位置传感器共同工作，能够提供更加精确的晶圆位移状态检测。

进一步的，所述固定架朝向手指夹持部的一侧为弧形。考虑到晶圆的形状，通过固定架的上述设置，使得两个位置传感器更加靠近晶圆，从而利于获得精确的位移状态检测。

进一步的，所述手指的夹持部为V形。

进一步的，所述位置传感器通过螺钉与固定架连接；所述固定架通过螺钉与手指连接。

进一步的，所述手指连接部具有走线槽，从而使得连接位置传感器的线材通过走线槽走线，保证传感器的工作。

在一个实施方案中，所述固定架采用尼龙材质，从而减轻手指承重。

本实用新型方法具有如下优点：

1、本新型涉及的实时监测晶圆偏移的半导体机械手末端执行器通过在手指连接部设置传感器，从而实现实时监测晶圆位移状态并可发出反馈信号，从而避免了由于晶圆偏移而使后续工艺无法进行的问题。

2、同时设置固定架的形状以及位置传感器的位置设置，能够提供更加精确的晶圆位移状态检测。

3、技术可靠、安装方便，便于大规模推广。

附图说明

图1为本实用新型一个实施方案中实时监测晶圆偏移的半导体机械手末端执行器的立体视图。

其中附图标记为：