[实用新型]一种太阳能曝光机的工位吸盘机构有效
| 申请号: | 201820577778.2 | 申请日: | 2018-04-20 |
| 公开(公告)号: | CN208334909U | 公开(公告)日: | 2019-01-04 |
| 发明(设计)人: | 石利 | 申请(专利权)人: | 无锡旭电科技有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
| 代理公司: | 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 | 代理人: | 赵华 |
| 地址: | 214000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 吸盘 吸盘组件 工位吸盘 铝块 生产需求 吸附效率 出气孔 曝光机 通气孔 铝板 气管 太阳能 技术方案要点 本实用新型 单个控制 气体控制 进气孔 气腔 通断 并列 | ||
1.一种太阳能曝光机的工位吸盘机构,其特征在于:包括外框(1),外框(1)内部设有吸盘组件(2),吸盘组件(2)滑动连接于外框(1)内部,所述吸盘组件(2)包括铝板(21)、铝块(22)、吸盘(212)和气管(23),所述铝块(22)均匀设有四个,铝块(22)内部开有气腔(221),每个气腔(221)上设有四个出气孔(222)和一个进气孔(223),所述铝板(21)上均匀设有四组吸盘(212),每组吸盘(212)设有四个吸盘(212),所述每个吸盘(212)上开有通气孔(213),出气孔(222)通过气管(23)与通气孔(213)相连,所述吸盘组件(2)并列设有三组。
2.根据权利要求1所述的一种太阳能曝光机的工位吸盘机构,其特征在于:所述吸盘组件(2)与外框(1)之间设有一级推动组件(3)和二级推动组件(4),一级推动组件(3)位于靠近外框(1)上侧,二级推动组件(4)位于一级推动组件(3)与吸盘组件(2)之间。
3.根据权利要求2所述的一种太阳能曝光机的工位吸盘机构,其特征在于:所述一级推动组件(3)包括第一气缸(31)、连板(32)、上框(33)和第一滑杆(34),所述上框(33)通过连板(32)与铝板(21)固定连接,所述第一滑杆(34)一端固定于外框(1)上,另一端滑动于上框(33)上,所述第一气缸固定于外框(1)上,第一气缸(31)的气缸杆垂直朝向地面设置,第一气缸(31)通过连板(32)与铝板(21)固定相连,气缸推动上框(33)使铝板(21)做线性运动。
4.根据权利要求2所述的一种太阳能曝光机的工位吸盘机构,其特征在于:所述二级推动组件(4)包括第二气缸(41)和第二滑杆(42),所述第二滑杆(42)一端固定于铝板(21),另一端滑动于上框(33)上,所述第二气缸(41)固定于上框(33)上,第二气缸(41)的气缸杆垂直朝向地面设置,且与铝板(21)固定连接,第二气缸(41)推动铝板(21)使铝板(21)做线性运动,所述每组吸盘组件(2)上均设有二级推动组件(4)。
5.根据权利要求1所述的一种太阳能曝光机的工位吸盘机构,其特征在于:所述进气孔(223)通过气管(23)与电磁阀(5)相连,所述电磁阀(5)设有两组,每组设有六个,每个电磁阀(5)控制进气孔(223)的通气与断气。
6.根据权利要求1所述的一种太阳能曝光机的工位吸盘机构,其特征在于:所述外框(1)上还设有断电保护组件(6),所述断电保护组件(6)包括第三气缸(61)和承托板(62),所述第三气缸(61)水平固定于外框(1)上,承托块呈“L”型,一端与第二气缸(41)的气缸杆相连,另一端位于上框(33)下侧。
7.根据权利要求6所述的一种太阳能曝光机的工位吸盘机构,其特征在于:所述断电保护组件(6)设有两组,两组断电保护组件(6)在吸盘组件(2)上呈斜角设置。
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