[实用新型]一种霍尔离子源能量辅助用导磁结构有效
| 申请号： | 201820569951.4 | 申请日： | 2018-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN208028016U | 公开（公告）日： | 2018-10-30 |
| 发明（设计）人： | 薛照明;李围红;薛海 | 申请（专利权）人： | 成都金雅克电气有限公司 |
| 主分类号： | H01J27/02 | 分类号： | H01J27/02 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 李龙 |
| 地址： | 610000 四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 永磁磁钢 本实用新型 磁场能量 导磁片 霍尔离子源 气体分配器 导磁结构 离子反应 能量辅助 过渡盘 陶瓷碗 连通 高度调节机构 器件技术领域 离子源辅助 局部位置 气路通道 磁传导 反应室 圆环状 | ||
1.一种霍尔离子源能量辅助用导磁结构，包括永磁磁钢(4)以及设置于永磁磁钢(4)正上方的离子反应结构(1)，其特征在于：所述离子反应结构(1)包括设有气路通道(1-3.1)的气体过渡盘(1-3)、与气体过渡盘(1-3)连通的陶瓷碗(1-2)以及与陶瓷碗(1-2)连通的气体分配器(1-1)，所述气体分配器(1-1)、陶瓷碗(1-2)和气体过渡盘(1-3)从上往下依次设置，气体分配器(1-1)上设置有圆环状的导磁片(3)。
2.根据权利要求1所述的一种霍尔离子源能量辅助用导磁结构，其特征在于：所述气体分配器(1-1)中心处设置有安装环(1-1.1)，所述导磁片(3)套接于安装环(1-1.1)上，且在气体分配器(1-1)上设置有保护件(2)，所述保护件(2)罩接于导磁片(3)外部。
3.根据权利要求1所述的一种霍尔离子源能量辅助用导磁结构，其特征在于：所述导磁片(3)由导磁材料制成，所述导磁材料包括但不限于420导磁不锈钢、低碳钢。
4.根据权利要求1-3任一项所述的一种霍尔离子源能量辅助用导磁结构，其特征在于：所述永磁磁钢(4)连接有高度调节机构(5)，所述高度调节机构(5)包括底座(5-1)和与永磁磁钢(4)固定连接的轴向调节器(5-2)，所述底座(5-1)中心处设置有通孔，轴向调节器(5-2)与通孔配合可沿通孔上下移动。
5.根据权利要求4所述的一种霍尔离子源能量辅助用导磁结构，其特征在于：所述轴向调节器(5-2)包括调节部(5-2.2)和安装部(5-2.1)，通孔内侧壁上设置有内螺纹，安装部(5-2.1)设置于通孔内，且安装部(5-2.1)外侧壁上设置有与内螺纹配合的外螺纹，永磁磁钢(4)竖直设置于安装部(5-2.1)上，调节部(5-2.2)设置于安装部(5-2.1)底部且位于通孔下方。
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