[实用新型]一种真空镀膜用10KV高压大功率开关电源保护电路

说明书

本实用新型公开了一种真空镀膜用10KV高压大功率开关电源保护电路，涉及电源保护电路技术领域，本实用新型包括可编辑逻辑电路U10及与可编辑逻辑电路U10配合的外围模拟电路模块，所述外围模拟电路模块包括原边电流检测模块、输出电流检测模块、输出电压检测模块、输出负载检测模块、灯丝保护模块和突变保护模块，本实用新型通过灯丝保护模块和突变保护模块对电子枪灯丝进行保护，当输出电流过流时，可编程逻辑电路U10控制灯丝保护模块启动，关闭灯丝电源，对灯丝进行保护；当输出电流突变时，可编程逻辑电路U10控制突变保护模块启动，瞬时关闭灯丝使能，起到对电子枪打火抑制以及灭弧的作用，使得开关电源能够稳定大功率工作。

技术领域

本实用新型涉及电源保护电路技术领域，更具体的是涉及一种真空镀膜用10KV高压大功率开关电源保护电路。

背景技术

真空镀膜主要分为蒸发和溅射两种，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜；溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。

现国内真空镀膜蒸发设备基本都是采用干式工频变压器经高压硅堆、整流滤波后给电子枪提供蒸发能量，但是这种方式存在效率低、对电网污染大、笨重、故障率高以及灭弧效果差等问题，而且维修成本也非常高；为了解决上述问题，德国首先推出了高效率的电子枪高压开关电源，虽然其稳定可靠，但是价格却非常昂贵；国内也有一些厂家尝试做开关电源，但都因为生产得到的开关电源保护电路不完善，不能稳定大功率工作而未获成功。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：为了解决现有的开关电源保护电路不完善，无法稳定大功率工作的问题，本实用新型提供一种真空镀膜用10KV高压大功率开关电源保护电路，通过灯丝保护模块和突变保护模块对电子枪灯丝进行保护，使其能够稳定工作。

本实用新型为了实现上述目的具体采用以下技术方案：

一种真空镀膜用10KV高压大功率开关电源保护电路，其特征在于：包括可编辑逻辑电路U10及与可编辑逻辑电路U10配合的外围模拟电路模块，所述外围模拟电路模块包括原边电流检测模块、输出电流检测模块、输出电压检测模块、输出负载检测模块、灯丝保护模块和突变保护模块；

原边电流检测模块：用于对原边互感器的电流进行取样，并将原边电流取样值传送到可编辑逻辑电路U10；

输出电流检测模块：用于对开关电源的输出电流进行取样，并将输出电流取样值传送到可编辑逻辑电路U10；

输出电压检测模块：用于对开关电源的输出电压进行取样，并将输出电压取样值传送到可编辑逻辑电路U10；

输出负载检测模块：用于对开关电源的输出负载进行取样，并将输出负载取样值传送到可编辑逻辑电路U10；

可编辑逻辑电路U10：对原边电流取样值、输出电流取样值、输出电压取样值以及输出负载取样值进行判断，将有效信号传送至灯丝保护模块和突变保护模块；

灯丝保护模块：过流时，接收来自可编辑逻辑电路U10的信号，关闭灯丝电源，对灯丝进行保护；

突变保护模块：在电流突变时，接收来自可编辑逻辑电路U10的信号，瞬时关闭灯丝使能。

进一步的，所述灯丝保护模块包括发光二极管AL2、三极管V2以及继电器G4，灯丝保护模块的具体连接为：可编辑逻辑电路U10的59脚连接有电阻R54，电阻R54的另一端与三极管V2的基极连接，三极管V2的发射极接地，发光二极管AL2的阳极连接到电源电压+12V上，发光二极管AL2的阴极连接有电阻R52，电阻R52的另一端与三极管V2的集电极均与继电器G4连接，继电器G4与灯丝电源连接。