[实用新型]一种硅片脱胶工装

说明书

本实用新型提供一种硅片脱胶工装，涉及工业领域。该一种硅片脱胶工装，包括第一支撑柱，所述第一支撑柱的顶部固定连接有支撑板，所述支撑板的顶部与酸液池的底部固定连接，所述酸液池通过其表面设置的转轴与转门的一端转动连接，所述酸液池的表面固定连接有耐酸连接管，所述耐酸连接管的底部固定连接有喷头，所述耐酸连接管的表面固定连接有箱体，所述箱体的底部与水浴室的顶部固定连接。该一种硅片脱胶工装，通过酸温度感应装置、酸液池、耐酸连接管、喷头和控制显示面板可以对装置内部的酸度进行控制调整，通过两个酸温度感应装置对装置内的液体进行检测，解决了不能对脱胶环境进行微调控制的问题。

技术领域

本实用新型涉及工业领域，具体为一种硅片脱胶工装。

背景技术

脱胶清洗与喷淋压力、环境温度、酸的浓度和温度、以及时间有一定的关系，喷淋的压力要控制在2～3MPa之间，压力不足会使得砂浆难以冲洗干净，所以喷淋泵的选择尤为重要；环境温度要控制在20℃～25℃之间，环境温度太低也会影响砂浆的脱离，所以好的设备会在喷淋前加一道在线加热工序，保证在环境温度较低的情况下对砂浆的清洗效果；酸的浓度和温度是脱胶的关键，一般工厂使用的都是乳酸，比例在1∶2合适，温度控制在70℃左右，在遇到不好脱的胶时适当的增加酸的浓度和提高酸液温度可起到较好的效果，脱胶的时间不宜太长，一般控制在800～900s，时间过长会腐蚀到硅片的表面，反而影响下一步植绒的质量，但现有的装置往往都是直接加热，对温度只能有一个大概的控制，当出现需要精细温度控制时，往往达不到要求，酸度也是预先调配好，并且在脱胶过程中酸度会下降，不能对脱胶环境进行微调控制。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种硅片脱胶工装，解决了不能对脱胶环境进行微调控制的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种硅片脱胶工装，包括第一支撑柱，所述第一支撑柱的顶部固定连接有支撑板，所述支撑板的顶部与酸液池的底部固定连接，所述酸液池通过其表面设置的转轴与转门的一端转动连接，所述酸液池的表面固定连接有耐酸连接管，所述耐酸连接管的底部固定连接有喷头，所述耐酸连接管的表面固定连接有箱体，所述箱体的底部与水浴室的顶部固定连接，所述水浴室内壁固定连接有加热板，所述水浴室的底部与耐热托板的顶部固定连接，所述耐热托板底部的两侧均固定连接有第二支撑柱，所述箱体的内壁分别固定连接有搅拌扇、防溅网和固定卡扣，所述固定卡扣的表面卡接有篮具，所述篮具的顶部与升降固定杆的底部固定连接，所述升降固定杆的表面与升降气杆的顶部固定连接，所述升降气杆的底部与固定连接板的顶部固定连接，所述固定连接板的底部与箱体的顶部固定连接。

优选的，所述酸液池和箱体的表面均开设有大小与耐酸连接管相适配的孔洞。

优选的，所述搅拌扇的数量为三个，并且搅拌扇均位于防溅网的内腔。

优选的，所述箱体的内壁固定连接有酸温度感应装置，所述箱体的外表面固定连接有控制显示面板。

优选的，所述水浴室的内部填充有水。

优选的，所述固定卡扣的形状与篮具相适配，所述箱体的表面开设有大小与升降固定杆相适配的孔洞。

(三)有益效果

本实用新型提供了一种硅片脱胶工装。具备以下有益效果：