[实用新型]内衬及反应腔室

权利要求书

1.一种内衬，其特征在于，所述内衬包括环形本体，在所述环形本体的外周壁上设置有凸缘；

所述环形本体具有冷却通道，且在所述凸缘中设置有与所述冷却通道相连通的出口通道和入口通道。

2.根据权利要求1所述的内衬，其特征在于，所述冷却通道包括设置在所述环形本体的侧壁上的凹道，以及将封闭所述凹道以形成所述冷却通道的封闭件。

3.根据权利要求1所述的内衬，其特征在于，所述冷却通道设置在所述环形本体中。

4.根据权利要求1-3中任一所述的内衬，其特征在于，所述冷却通道为环形，且沿所述环形本体的周向环绕。

5.根据权利要求4所述的内衬，其特征在于，所述冷却通道为多个，多个所述冷却通道沿所述环形本体的轴向间隔设置；并且，多个的所述冷却通道通过至少一个连接通道相连通。

6.根据权利要求5所述的内衬，其特征在于，每个所述冷却通道在周向上是非闭合的，且多个所述冷却通道的第一端沿所述环形本体的轴向排列，多个所述冷却通道的第二端沿所述环形本体的轴向排列；

所述连接通道为两个，且均竖直设置，并且其中一个所述连接通道与多个所述冷却通道的第一端连接；其中另一个所述连接通道与多个所述冷却通道的第二端连接。

7.根据权利要求1-3中任一所述的内衬，其特征在于，所述冷却通道为螺旋形，且沿所述环形本体的周向螺旋环绕。

8.根据权利要求1所述的内衬，其特征在于，所述出口通道和入口通道各自的远离所述冷却通道的一端位于所述凸缘的外周壁上。

9.一种反应腔室，包括腔体，及环绕设置在所述腔体的侧壁内侧的内衬，其特征在于，所述内衬采用权利要求1-8中任一所述的内衬。

10.根据权利要求9所述的反应腔室，其特征在于，在所述腔体的侧壁内侧设置有环形凸台，所述凸缘叠置在所述环形凸台上；所述出口通道和入口通道各自的远离所述冷却通道的一端位于所述凸缘的外周壁上；并且，在所述腔体的侧壁中，且与所述出口通道和入口通道相对应的位置处设置有开口，用于使冷却源的输入接头和输出接头能够通过所述开口与所述出口通道和入口通道连接。