[实用新型]一种复合量程气压传感器和高精度探空气压测量装置

权利要求书

1.一种复合量程气压传感器，其特征在于，包括自下而上依次叠放的玻璃基底层、硅底层、绝缘二氧化硅层和玻璃空腔，硅底层底部向上设置有两级凹槽，凹槽上方设有内膜片和外膜片，外膜片比内膜片的厚度厚，内膜片为内部气压传感器的受力应变薄膜，外膜片为外部气压传感器的受力应变薄膜；绝缘二氧化硅层上表面放置了内外两组套嵌的由4个硅纳米线压敏电阻构成的惠斯通电桥，其中一组惠斯通电桥中的硅纳米线压敏电阻两两对称放置于内膜片四周，另一组惠斯通电桥中的硅纳米线压敏电阻两两对称放置于外膜片的四周。

2.根据权利要求1所述的一种复合量程气压传感器，其特征在于，玻璃空腔是通过阳极键合与复合量程气压传感器的绝缘二氧化硅层结合，形成了一个参考压力室，并在玻璃空腔内表面覆盖了恒温装置，在玻璃空腔上钻孔并注入了不导电的传导树脂，通过金属触点将引线通过钻孔引出实现电连接。

3.根据权利要求2所述的一种复合量程气压传感器，其特征在于，所述恒温装置所用材料为聚酰亚胺电热膜。

4.一种高精度探空气压测量装置，其特征在于，包括权利要求1或2或3所述的复合量程气压传感器、静压头装置、恒流源模拟标准压力电路以及恒温装置；所述静压头装置内表面固定了恒温装置，气体进入静压头装置，静压头装置用于过滤掉风速风向对复合量程气压传感器的影响；恒流源模拟标准压力电路用于进行复合量程气压传感器的实时自校正，恒温装置用于处理屏蔽掉环境温度变化产生的影响。

5.根据权利要求4所述的一种高精度探空气压测量装置，其特征在于，所述静压头装置由上下对称的两个钻孔椭圆半球体及空腔导管组成，其中两个半球体上下对称放置形成进风口，位于上方的空腔导管一端连接上方的半球体，另一端与复合量程气压传感器相连，位于下方的空腔导管一端与下方的半球体相连，另一端悬空。

6.根据权利要求4所述的一种高精度探空气压测量装置，其特征在于，所述恒温装置所用材料为聚酰亚胺电热膜。

7.根据权利要求4所述的一种高精度探空气压测量装置，其特征在于，所述恒流源模拟标准压力电路由恒流源芯片与传感器惠斯通电桥连接构成，其中恒流源芯片采用了ADI公司生产的可编程电流源输出芯片AD5410。

8.根据权利要求4所述的一种高精度探空气压测量装置，其特征在于，还包括信号调理电路、A/D转换器、单片机、无线通信模块和HID，复合量程气压传感器与信号调理电路、A/D转换器、单片机依次顺序连接，单片机与恒流源模拟标准压力电路、恒温装置、无线通信模块、HID分别连接。