[实用新型]一种LED芯片光刻匀胶台有效
申请号: | 201820544159.3 | 申请日: | 2018-04-17 |
公开(公告)号: | CN208156414U | 公开(公告)日: | 2018-11-27 |
发明(设计)人: | 丘金荣 | 申请(专利权)人: | 丘金荣 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 深圳市千纳专利代理有限公司 44218 | 代理人: | 钟亮 |
地址: | 518001 广东省深圳市罗*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 工作槽 主机台 匀胶 旋转柱 光刻 加热装置 内部安装 驱动装置 排气孔 上表面 载片台 烘烤 圆孔 安装侧壁 电性连接 工作效率 排风系统 整体设计 上端 集胶槽 中心处 侧壁 和匀 内开 排出 下端 叶面 连通 清洗 防护 贯穿 | ||
本实用新型公开了一种LED芯片光刻匀胶台,包括主机台,主机台的内部安装有驱动装置,主机台的上表面开设有工作槽,工作槽中心处开设有第一圆孔,工作槽侧壁的下部开设有第一排气孔,工作槽内安装有盛胶装置,驱动装置的上表面连接有旋转柱的下端,旋转柱的贯穿第一圆孔,旋转柱的上端安装有载片台,载片台的内部安装有加热装置,加热装置与主机台电性连接,盛胶装置包括安装侧壁、集胶槽、集胶叶面和匀胶防护。本LED芯片光刻匀胶台,在匀胶的过程中增加了烘烤步奏,免去借助其他设备烘烤,提高了工作效率,盛胶装置采用整体设计,安拆方便,清洗容易,在盛胶装置和工作槽内开设有与排风系统连通的排气孔,有利于气味排出。
技术领域
本实用新型涉及LED加工设备技术领域,具体为一种LED芯片光刻匀胶台。
背景技术
匀胶机是一种利用旋转产生的离心力原理,将胶液均匀甩开,平铺到材料表面的机械装置,其应用于各类对于材料表面涂覆的均匀性有严格要求的实验或制造领域。LED芯片在制做电极过程中,需要对LED晶圆片的表面进行匀胶处理,再对其进行烘烤,现在一般的匀胶机没有烘烤功能,需要借助其他设备进行烘烤,过程比较繁琐,同时匀胶过程中,光刻胶的气味较大,难以忍受,现有的匀胶台废胶难以清洗。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种LED芯片光刻匀胶台,具有自动加热、气味小、易清洗的优点,解决了现有技术中的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种LED芯片光刻匀胶台,包括主机台,所述主机台的内部安装有驱动装置,主机台的上表面开设有工作槽,工作槽中心处开设有第一圆孔,工作槽侧壁的下部开设有第一排气孔,工作槽安装有盛胶装置,所述驱动装置的上表面连接有旋转柱的下端,旋转柱的贯穿第一圆孔,旋转柱的上端安装有载片台,载片台的内部安装有加热装置,加热装置与主机台电性连接,所述盛胶装置包括安装侧壁、集胶槽、集胶叶面和匀胶防护,安装侧壁的外壁与工作槽的内壁贴合,安装侧壁下部开设有第二排气孔,安装侧壁的下端与集胶槽的外壁连接,集胶槽一侧的下表面开设有漏胶孔,漏胶孔的下方连接有软管的一端,软管的另一端插在废胶瓶中,集胶槽的内壁与集胶叶面的下边缘连接,集胶叶面上表面的中心处开设有第二圆孔,旋转柱贯穿第二圆孔第二圆孔的上方连接有匀胶防护。
优选的,所述第一排气孔与第二排气孔的位置相对应,第一排气孔与排风机构相连。
优选的,所述加热装置由感应线圈组成。
优选的,所述集胶叶面为中间高、四周底的曲面结构,集胶槽开设有漏胶空一侧的高度低于另一侧。
优选的,所述匀胶防护的高度低于第一载片台的下表面,载片台的上表面低于安装侧壁的上表面。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果如下:
本LED芯片光刻匀胶台,在匀胶的过程中增加了烘烤步奏,免去借助其他设备烘烤,提高了工作效率,盛胶装置采用整体设计,安拆方便,清洗容易,在盛胶装置和工作槽内开设有与排风系统连通的排气孔,有利于气味排出。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构图;
图2为本实用新型的A-A截面图;
图3为本实用新型的盛胶装置结构图。
图中:1主机台、11工作槽、111第一圆孔、112第一排气孔、2驱动装置、3旋转柱、4载片台、41加热装置、5盛胶装置、51安装侧壁、511第二排气孔、52集胶槽、521漏胶孔、53集胶叶面、531第二圆孔、54匀胶防护、55软管、56废胶瓶。
具体实施方式
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