[实用新型]自动供给式激光显微系统

权利要求书

1.一种自动供给式激光显微系统，其特征在于：包括将待测对象(108)逐一送至待检位的自动供给装置、用于将激光束聚焦于被检对象上的后侧激光聚焦装置(102)和位于后侧激光聚焦装置(102)前方的后续激光处理装置，所述被检对象为位于所述待检位上的待测对象(108)；所述待检位为后侧激光聚焦装置(102)的聚焦点；所述待检位位于后侧激光聚焦装置(102)前侧，所述后续激光处理装置位于所述待检位的正前方；所述自动供给装置位于所述待检位的一侧；

所述后续激光处理装置包括对所述激光束聚焦于所述被测对象后产生的外侧光线进行处理的外侧光处理装置(106)、对所述激光束聚焦于所述被测对象后产生的中部光束进行聚焦的前侧激光聚焦装置(114)和经前侧激光聚焦装置(114)聚焦后的光束进行检测的激光探测装置(126)，所述外侧光处理装置(106)位于所述被测对象的正前方，所述前侧激光聚焦装置(114)位于外侧光处理装置(106)的正前方或正后方，所述激光探测装置(126)位于前侧激光聚焦装置(114)的正前方；所述外侧光处理装置(106)为衍射装置。

2.按照权利要求1所述的自动供给式激光显微系统，其特征在于：所述外侧光处理装置(106)的后侧面为光接收面，所述光接收面为曲面或呈竖直向布设的平面；

当所述光接收面为曲面时，所述待检位与所述光接收面上各位置处的间距均相同。

3.按照权利要求1或2所述的自动供给式激光显微系统，其特征在于：所述自动供给装置为将置于测试架(110)上的待测对象(108)逐一送至所述待检位的测试架供给装置或将处于悬空状态的待测对象(108)逐一送至所述待检位的对象直接供给装置，所述测试架(110)为供一个所述待测对象(108)布设的支架。

4.按照权利要求3所述的自动供给式激光显微系统，其特征在于：所述测试架供给装置为同步移动式供给装置或架体移动式供给装置；

所述同步移动式供给装置包括能带动多个所述测试架(110)同步移动并将多个所述测试架(110)上的待测对象(108)逐一送至所述待检位的架体位置调节机构，多个所述测试架(110)均固定安装在所述架体位置调节机构上，所述架体位置调节机构位于所述待检位的一侧；

所述架体移动式供给装置包括供多个所述测试架(110)放置的架体放置机构和对所述架体放置机构上的测试架(110)进行逐一移动并将所移动测试架(110)上的待测对象(108)移送至所述待检位的架体移动机构，所述架体移动机构位于所述待检位的一侧，所述架体移动机构位于所述架体放置机构的一侧。