[实用新型]一种用于合成氮化硅粉体的悬浮反应器

权利要求书

1.一种用于合成氮化硅粉体的悬浮反应器，其特征在于包括：炉管（1）、炉壳（2）、加热火炬（3）和喷管（4）；所述炉管的内腔由上至下依次分为吸热区（A）、反应放热区（B）和保温区（C），炉管的上端固定有向下喷火的所述加热火炬，炉管的下端设有出料口（5）；所述炉壳套设于炉管外部且炉管与炉壳之间设有空隙，所述空隙填充有保温棉（6）；所述喷管穿设炉壳、炉管进入炉管内腔的吸热区，且喷管的末端设有喷嘴（7），所述喷嘴朝上且位于加热火炬下方；所述炉壳上设有氮气入口（8）；所述炉管处于吸热区、反应放热区和保温区的内壁上分别设有至少一圈进气缝（9），进气缝在竖直方向上开口向炉管内腔斜向上，进气缝在水平面上开口与炉管内壁曲面近似或完全相切且所有开口朝向一致。

2.如权利要求1所述的一种用于合成氮化硅粉体的悬浮反应器，其特征在于，所述炉管由多个炉管单元（10）垂直叠放而成；每个所述炉管单元的顶部和底部分别设有外倒角和内倒角，所述外倒角面上设有若干均匀分布的螺旋槽（11），多个炉管单元垂直叠放后螺旋槽成为所述进气缝。

3.如权利要求1或2所述的一种用于合成氮化硅粉体的悬浮反应器，其特征在于，所述进气缝在竖直方向上斜向上的角度为30-50度。

4.如权利要求1或2所述的一种用于合成氮化硅粉体的悬浮反应器，其特征在于，所述进气缝在炉管竖直方向上设有4-6层。

5.如权利要求1所述的一种用于合成氮化硅粉体的悬浮反应器，其特征在于，所述炉管的外侧壁上设有若干测温点（12）。

6.如权利要求1或2所述的一种用于合成氮化硅粉体的悬浮反应器，其特征在于，所述炉壳的外壁上设有测压点（13）。

7.如权利要求1或2所述的一种用于合成氮化硅粉体的悬浮反应器，其特征在于，所述炉壳上氮气入口的数量为两个，分别位于炉壳的顶部和底部，且两个氮气入口位于对立侧。

8.如权利要求1或2所述的一种用于合成氮化硅粉体的悬浮反应器，其特征在于，所述喷嘴为螺旋喷嘴。

9.如权利要求1或2所述的一种用于合成氮化硅粉体的悬浮反应器，其特征在于，所述加热火炬为等离子火炬。

10.如权利要求1或2所述的一种用于合成氮化硅粉体的悬浮反应器，其特征在于，所述炉管为石墨材质。