[实用新型]一种用于氮化硅粉体合成的微波等离子预热器有效
| 申请号： | 201820530239.3 | 申请日： | 2018-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN208139854U | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 任小平 | 申请（专利权）人： | 浙江东瓷新材料有限公司 |
| 主分类号： | F27D13/00 | 分类号： | F27D13/00;C01B21/068 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人： | 尉伟敏 |
| 地址： | 317300 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 喷射器 微波等离子 出料端 盘管 预热器 本实用新型 氮化硅粉体 预热器壳体 氮气管道 合成 氮化硅 火炬 悬浮反应器 环保节能 使用寿命 预热器壳 进料端 添加口 延伸 硅粉 制备 能耗 体内 | ||
1.一种用于氮化硅粉体合成的微波等离子预热器，其特征在于：包括氮气管道（100）、第一喷射器（101）、微波等离子火炬（102）、第二喷射器（103）、预热器壳体（104）和盘管（105）；所述第一喷射器上设有硅粉添加口（106），所述氮气管道的出料端延伸进入第一喷射器内，第一喷射器的出料端与第二喷射器连接；所述微波等离子火炬设于第二喷射器内；所述盘管设于预热器壳体内，且第二喷射器的出料端与盘管的进料端连接，盘管的出料端延伸出预热器壳体外并与用于合成氮化硅的悬浮反应器（1）连接。
2.如权利要求1所述的一种用于氮化硅粉体合成的微波等离子预热器，其特征在于，所述氮气管道中的氮气来源为用于氮化硅粉体合成后保温冷却的保温冷却器（2）的余热氮气。
3.如权利要求1所述的一种用于氮化硅粉体合成的微波等离子预热器，其特征在于，所述第一喷射器的出料口朝向微波等离子火炬。
4.如权利要求1或3所述的一种用于氮化硅粉体合成的微波等离子预热器，其特征在于，所述第一喷射器内的压力小于第二喷射器内的压力。
5.如权利要求1或3所述的一种用于氮化硅粉体合成的微波等离子预热器，其特征在于，所述微波等离子火炬为陶瓷材质。
6.如权利要求1所述的一种用于氮化硅粉体合成的微波等离子预热器，其特征在于，所述预热器外壳与盘管之间填充有保温介质。
7.如权利要求1或6所述的一种用于氮化硅粉体合成的微波等离子预热器，其特征在于，所述盘管的出料端上设有测温点（11）。
8.如权利要求1或6所述的一种用于氮化硅粉体合成的微波等离子预热器，其特征在于，所述盘管、预热器壳体的内腔为耐高温合金材质。
9.如权利要求1所述的一种用于氮化硅粉体合成的微波等离子预热器，其特征在于，所述氮气管道上连接有液氨储罐（107）。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江东瓷新材料有限公司，未经浙江东瓷新材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201820530239.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
