[实用新型]一种射流激光复合清洗系统

权利要求书

1.一种射流激光复合清洗系统，包括水箱(8)、射流加压腔(7)、空化射流喷嘴(6)、激光器(4)和工作台(1)；工作台(1)台面为水平面，工件(2)固定于工作台(1)台面；其特征在于：

水箱(8)的出水管连接射流加压腔(7)，射流加压腔(7)的出口接有空化射流喷嘴(6)；激光器(4)产生的激光束(3)的聚焦点处于工件(2)上方的水膜(9)中。

2.根据权利要求1所述的射流激光复合清洗系统，其特征在于：

所述空化射流于工件(2)表面产生的水膜(9)厚度d＝0.5mm～2mm，所述激光束(3)的聚焦点处于工件(2)上方的水膜(9)内，激光束(3)的聚焦点与工件(2)表面的距离为d/3至d/2。

3.根据权利要求1所述的射流激光复合清洗系统，其特征在于：

所述激光束(3)的中心线垂直于工作台(1)台面，空化射流的中心线与激光束(3)中心线共面，二者的夹角为10°～45°。

4.根据权利要求1所述的射流激光复合清洗系统，其特征在于：

所述激光器(4)后接光纤激光整形器(5)。

5.根据权利要求1所述的射流激光复合清洗系统，其特征在于：

所述空化射流喷嘴(6)出口直径0.35mm～1.2mm,出口流速1m/s～50m/s。

6.根据权利要求1所述的射流激光复合清洗系统，其特征在于：

所述空化射流的中心轴线和工件(2)表面的交点与激光束(3)聚焦点在水平方向的距离为1mm～4mm；空化射流落在工件(2)表面产生的水膜(9)覆盖激光在工件(2)表面的定位光斑。

7.根据权利要求1所述的射流激光复合清洗系统，其特征在于：

所述激光的波长为1064nm～10640nm，激光束(3)能量密度为25J/cm²～80J/cm²,脉宽为10μs～500μs,重复频率为20kHz～60kHz。