[实用新型]一种多尺寸兼容的LED厚度检测的自动化设备

权利要求书

1.一种多尺寸兼容的LED厚度检测的自动化设备，包括晶圆盒库(1)、机械手(2)、预对准平台(3)和大理石气浮台(4)，其特征在于：所述机械手(2)的一侧设置有晶圆盒库(1)，所述机械手(2)的另一侧且与晶圆盒库(1)成九十度的位置设置有预对准平台(3)，所述机械手(2)远离晶圆盒库(1)的一侧设置有大理石气浮台(4)；

所述晶圆盒库(1)的内部设置有晶圆盒适配器(11)，所述晶圆盒适配器(11)设置有多个，多个所述晶圆盒适配器(11)共分为上下两层，所述晶圆盒适配器(11)的前端设置有第二传感器(14)，所述第二传感器(14)靠近晶圆盒适配器(11)的底部设置有第一传感器(13)，所述晶圆盒适配器(11)的上方设置有2英寸晶圆盒(15)或者4英寸晶圆盒(12)；

所述机械手(2)的一侧设置有机械手L轴臂(22)，且机械手(2)的另一侧设置有机械手R轴臂(25)，所述机械手R轴臂(25)与L轴臂(22)的一侧均设置有抓取手(21)，且机械手R轴臂(25)与L轴臂(22)共同的另一侧设置有机械手Z轴臂(24)，所述机械手L轴臂(22)的尾端设置有第三传感器(23)；

所述预对准平台(3)的一侧设置有CCD检测仪(31)，且预对准平台(3)的另一侧设置有调整台(32)；

所述大理石气浮台(4)的中间位置设置有厚度检测传感器(41)，上下共两个，同心设置，所述两个厚度检测传感器(41)的中间位置设置有兼容2,4寸的检测载物运动台(42)。

2.根据权利要求1所述的一种多尺寸兼容的LED厚度检测的自动化设备，其特征在于：所述晶圆盒库(1)、预对准平台(3)和大理石气浮台(4)均安装在以机械手Z轴臂(24)为圆心的不同半径的圆上。

3.根据权利要求1所述的一种多尺寸兼容的LED厚度检测的自动化设备，其特征在于：所述晶圆盒适配器(11)兼容2英寸的晶圆盒(15)和4英寸的晶圆盒(12)。

4.根据权利要求1所述的一种多尺寸兼容的LED厚度检测的自动化设备，其特征在于：所述调整台(32)由三个运动轴组成，所述三个运动轴分别为水平方向的直线运动轴X、竖直方向的直线运动轴Z以及旋转轴R组成。

5.根据权利要求1所述的一种多尺寸兼容的LED厚度检测的自动化设备，其特征在于：所述两个厚度检测传感器(41)能够在竖直方向进行微调。

6.根据权利要求1所述的一种多尺寸兼容的LED厚度检测的自动化设备，其特征在于：所述检测载物运动台(42)能够在水平面上做X,Y两维运动。