[实用新型]一种用于磁控溅射镀膜的型材有效
| 申请号： | 201820516825.2 | 申请日： | 2018-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN208071803U | 公开（公告）日： | 2018-11-09 |
| 发明（设计）人： | 蒋道顶 | 申请（专利权）人： | 无锡市重本异型钢管有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海诺衣知识产权代理事务所(普通合伙) 31298 | 代理人： | 徐银辉 |
| 地址： | 214037 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 圆弧部 直线部 磁控溅射镀膜 本实用新型 水平部 避让 连接安装部 封闭空间 一端连接 安装槽 避让槽 封闭端 封闭 预留 保证 | ||
1.一种用于磁控溅射镀膜的型材，其特征在于，包括上部、下部以及连接上部和下部的直线部，所述上部包括避让部、水平部以及连接部，所述避让部包括第一直线部、第一圆弧部和第二直线部，所述连接部连接第二直线部和水平部；所述下部包括2个安装部、安装部连接部和封闭端，所述安装部包括两个第二圆弧部和连接两个第二圆弧部的第三直线部，所述安装部连接部连接两个安装部的第二圆弧部，所述直线部通过第四直线部连接安装部的第二圆弧部，所述封闭端的一端连接第二圆弧部，所述封闭端的另一端贴在第一圆弧部上，形成封闭空间。
2.根据权利要求1所述一种用于磁控溅射镀膜的型材，其特征在于,所述避让部开口朝上。
3.根据权利要求2所述一种用于磁控溅射镀膜的型材，其特征在于,所述避让部的第一直线部与第二直线部平行，所述第一圆弧部为半圆，所述第二直线部的长度大于第一直线部的长度。
4.根据权利要求3所述一种用于磁控溅射镀膜的型材，其特征在于,所述连接部为直线，所述直线部与水平部的夹角为钝角。
5.根据权利要求1所述一种用于磁控溅射镀膜的型材，其特征在于，所述安装部连接部包括依次连接的第五直线部、第六直线部、第七直线部和第八直线部，第五直线部与其中一个安装部的第二圆弧部圆弧连接，第八直线部与另一个安装部的第二圆弧部圆弧连接，所述第六直线部与水平部平行。
6.根据权利要求5所述一种用于磁控溅射镀膜的型材，其特征在于，第八直线部的顶部与直线部的垂直距离为88mm，第六直线部与避让部的顶端距离为30.7mm,所述型材的厚度为1.5mm。
7.根据权利要求1所述一种用于磁控溅射镀膜的型材，其特征在于，所述第三直线部朝向上部。
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