[实用新型]一种单晶炉中的坩埚保温结构有效
| 申请号： | 201820513358.8 | 申请日： | 2018-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN208293117U | 公开（公告）日： | 2018-12-28 |
| 发明（设计）人： | 徐永亮;冯微;于海群;汪海波 | 申请（专利权）人： | 浙江昀丰新材料科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B17/00 | 分类号： | C30B17/00;C30B29/20 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人： | 逯长明;许伟群 |
| 地址： | 321000 浙江省金华市金*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 圆台状通孔 保温结构 圆柱状通孔 坩埚盖板 保温屏 单晶炉 下底面 坩埚 退火 蓝宝石单晶 下部开口 上表面 上底面 同轴 断裂 生长 申请 | ||
1.一种单晶炉中的坩埚保温结构，其特征在于，包括保温屏(2)和坩埚盖板(1)，所述保温屏(2)设置于所述坩埚盖板(1)的上表面；
所述保温屏(2)的中心设有一圆台状通孔，所述圆台状通孔的上底面直径小于所述圆台状通孔的下底面直径；
所述坩埚盖板(1)的中心设有一圆柱状通孔，所述圆柱状通孔与所述圆台状通孔同轴；所述圆柱状通孔的直径与所述圆台状通孔的下底面直径相同。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉中的坩埚保温结构，其特征在于，所述保温屏(2)包括多个层叠放置的保温板(21)，每个所述保温板(21)的中心设有一个圆孔，由下至上，所述保温板(21)中心的圆孔逐渐减小。
3.根据权利要求2所述的一种单晶炉中的坩埚保温结构，其特征在于，每两个保温板(21)之间设有多个支撑间隔(22)，所述支撑间隔(22)为U型。
4.根据权利要求1-3任一项所述的一种单晶炉中的坩埚保温结构，其特征在于，所述圆台状通孔的上底面直径为80mm～100mm之间任一数值；所述圆台状通孔的下底面直径为120mm～150mm之间任一数值。
5.根据权利要求2或3所述的一种单晶炉中的坩埚保温结构，其特征在于，所述保温板(21)的厚度为0.3mm～1mm之间任一数值。
6.根据权利要求3所述的一种单晶炉中的坩埚保温结构，其特征在于，所述支撑间隔(22)的高度为3mm～5mm之间任一数值。
7.根据权利要求1-3任一项所述的一种单晶炉中的坩埚保温结构，其特征在于，所述坩埚盖板(1)的厚度为3mm-7mm之间任一数值。
8.根据权利要求2或3所述的一种单晶炉中的坩埚保温结构，其特征在于，所述保温板(21)为钼板、钨板或者钨钼合金板。
9.根据权利要求1-3任一项所述的一种单晶炉中的坩埚保温结构，其特征在于，所述坩埚盖板(1)的材料为钨、钼或者钨钼合金。
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