[实用新型]一种用于进行高温光致发光谱测量的样品台

说明书

本实用新型为一种用于进行高温光致发光谱测量的样品台，所述的样品台包括装样台、样品盖、样品支架和保温套；装样台为竖直放置的圆盘，其左侧中心同轴设置有圆形凹槽；样品盖为装有石英玻璃的中空样品盖，通过螺纹连接盖在样品凹槽上；装样台的右侧凹槽内，设置有热电偶；热电偶的外面，贴合放置圆形加热片，圆形加热片的中心与反Z型样品支架的一端相连；装样台固定于中空圆柱型保温套中。本实用新型样品台便于对装样台进行局部加热，可以用于测量室温到300℃的光致发光吸收谱，设定温度和实际样品温度的温度误差在1℃以内。

技术领域

本实用新型涉及光致发光谱、光吸收谱测量技术领域，具体涉及一种用于进行高温光致发光谱、光吸收谱测量的样品台。

背景技术

光致发光谱仪是半导体领域的普遍检测设备，可以快速、便捷地表征半导体材料的缺陷、杂质以及材料的发光性能，一直以来光致发光谱测量设备都是研究半导体材料不可缺少的，常规的光致发光谱设备配备的一般是低温和常温，样品架只用来放置样品，不具备有控温功能，低温测量时通过外部制冷装置使样品腔处于真空低温环境下，测量样品台上样品的低温发光性能。但是，一些特殊的样品需要测量其高温热致发光性能，光致发光设备并没有配备高温测量配件，且现有的样品架无法直接安装加热片，为了满足科研的需要，需要研制用于进行高温光致发光谱测量的样品台。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是，在原有光致发光设备的基础上，针对现有光致发光设备高温测量的不足，搭建了一个用于进行高温测量的样品台，该样品台利用放置于装样台底部的加热片只对装样台进行加热，装样台固定在密封保温套中，避免高温扩散到光致发光设备样品腔内，给设备寿命和器件带来损伤。本实用新型专利设计的样品台结构可以保证样品高温温度的准确性和稳定性，解决光致发光谱测量仪高温测量的不足，从而扩展了样品温度测试范围，进一步探索和了解样品的内部信息。

本实用新型的技术方案为：

一种用于进行高温光致发光谱测量的样品台，所述的样品台包括装样台、样品盖、样品支架和保温套；

所述的装样台为竖直放置的圆盘，其左侧中心同轴设置有圆形凹槽；样品盖通过螺纹连接盖在样品凹槽上；装样台的右侧凹槽内，设置有热电偶；热电偶的外面，贴合放置圆形加热片，圆形加热片的中心与样品支架的一端相连；

所述的圆形样品盖中间开孔，石英玻璃嵌入于样品盖内，中间开孔的孔直径与装样台左侧的圆形凹槽的内径相同；

所述的样品支架为反Z型样品支架，样品支架的一端固定圆形加热片，另一端固定在保温套盖上；固定螺丝穿过样品支架的竖杆，将其固定在装样台的外沿；样品支架的上横杆固定在保温套盖上；

所述的装样台位于保温套中，圆形凹槽的底部平面的中心位于保温套的中轴上；所述的保温套为中空圆柱型保温套，保温套的外壁上开有入射光孔和出射光孔，光孔内镶嵌有石英玻璃片，两个光孔的直径与圆形凹槽的内径相同，入射光孔的中心、出射光孔中心与圆形凹槽中心的水平高度相等，并且入射光孔的中心、出射光孔中心与圆形凹槽中心的连线均与圆形凹槽的底部平面呈45度角。

本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型通过加热片使装样台产生高温，样品紧压于装样台左侧的样品凹槽内，热电偶测量样品台的实际温度，当实际温度到达预设温度且稳定时，对样品进行测量。该样品台可以应用于测量室温到300℃的光致发光吸收谱，设定温度和实测温度的温度误差在1℃以内。装样台放置于聚四氟乙烯保温套内，使样品处于局部稳定的高温环境中，避免了高温对仪器设备造成损伤。

附图说明

图1是本实用新型中用于进行高温光致发光谱测试的样品台的结构示意图；

图2是本实用新型中装样台和样品支架的结构示意图；

图3是本实用新型中装样台外部的保温套的结构示意图；