[实用新型]直线等离子体装置中一种样品温度控制与测量结构有效
| 申请号： | 201820506995.2 | 申请日： | 2018-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN207976399U | 公开（公告）日： | 2018-10-16 |
| 发明（设计）人： | 侯鹏飞;程龙;吕广宏;袁悦 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | G01N21/73 | 分类号： | G01N21/73 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 刘萍 |
| 地址： | 100191*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 可拆卸 样品台 水冷 水冷底座 样品表面观察 直线等离子体 夹具 红外高温计 红外热像仪 测量窗口 热电偶 真空室 红外光 测量 穿过 本实用新型 加热功能 接头更换 温度诊断 样品表面 准确监测 接收器 背面 发射 配备 | ||
【权利要求书】：
1.直线等离子体装置中一种样品温度控制与测量结构，其特征在于：
样品通过夹具固定在可拆卸水冷样品台上，可拆卸水冷样品台前端真空室设有样品表面观察与测量窗口；
热电偶穿过可拆卸水冷样品台的水冷底座和夹具，直接接触样品背面；
样品表面发射的红外光穿过真空室样品表面观察与测量窗口到达红外热像仪和红外高温计接收器。
2.根据权利要求1所述的结构，其特征在于：可拆卸水冷样品台的水冷底座能通过世伟洛克接头更换为具有加热功能的样品台水冷底座。
3.根据权利要求1所述的结构，其特征在于：磁场线圈环绕真空室，通过导轨滑动和固定。
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