[实用新型]氯硅烷定量取样系统

说明书

本实用新型涉及一种氯硅烷定量取样系统，包括入口三通球阀、定量罐、出口三通球阀、取样针阀、氮气吹扫装置和取样装置，其中的连接关系为：所述入口三通球阀的一端和料液进口管线连接，所述入口三通球阀的另两端分别和所述定量罐以及取样针阀通过管道连接；所述定量罐的另一端与所述出口三通球阀连接；所述出口三通球阀的另两端分别和料液回口以及所述氮气吹扫装置管线连接；所述取样针阀的另外一端和所述取样装置连接。本实用新型具有定量取样、避免空气接触产生副反应、安全环保、可靠性好且使用寿命长的优点。

技术领域

本实用新型涉及一种取样系统，具体涉及到一种具有定量取样、避免空气接触产生副反应、安全环保、可靠性好的氯硅烷定量取样系统。

背景技术

氯硅烷是一种化学品，能与含活泼氢的化合物进行激烈反应，如与水、醇、酚、硅醇、有机酸等，放出氯化氢。与有机金属化合物反应，氯原子被相应的有机基取代，生成有机氯硅烷或有机硅烷。用作硅外延片生产过程中的硅源及制备有机氯硅烷的原料，是半导体行业重要的生产原料。目前传统取样为手动敞口取样，取样过程中与空气中水分接触极易产生副反应影响取样品质并且堵塞管道，同时取样过程中产生HCl酸雾对取样人员的人身安全具有威胁。

随着人们对环境问题的日益关注，世界范围内对液体、气体的排放、内容物法规越来越严格，且很快就会执行新的高标准。随着对环保及安全的要求越来越高，所以对整个系统的安全性稳定性提出了更高的要求。

因此，现有取样系统已不能满足要求，存在很大的提升空间。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种氯硅烷定量取样系统，以解决现有取样系统存在各方面技术问题。

为达到上述目的，本实用新型提供一种氯硅烷定量取样系统，包括入口三通球阀、定量罐、出口三通球阀、取样针阀、氮气吹扫装置和取样装置，其中的连接关系为：所述入口三通球阀的一端和料液进口管线连接，所述入口三通球阀的另两端分别和所述定量罐以及取样针阀通过管道连接；所述定量罐的另一端与所述出口三通球阀连接；所述出口三通球阀的另两端分别和料液回口以及所述氮气吹扫装置管线连接；所述取样针阀的另外一端和所述取样装置连接。

本实用新型较佳实施例所述的氯硅烷定量取样系统，所述取样装置包括取样瓶、碱液吸收罐和活性炭吸附罐，所述取样瓶、碱液吸收罐和活性炭吸附罐依序连接，所述取样瓶的另外一端和所述取样针阀连接。

本实用新型较佳实施例所述的氯硅烷定量取样系统，还包括取样瓶保护罩，所述取样瓶保护罩覆盖连接所述取样瓶。

本实用新型较佳实施例所述的氯硅烷定量取样系统，所述氮气吹扫装置包括单向阀、分子筛脱水罐和氮气针阀，所述单向阀、分子筛脱水罐和氮气针阀依序连接，所述单向阀的另外一端和所述出口三通球阀连接，所述氮气针阀的另外一端和氮气入口连接。

本实用新型对现有氯硅烷取样系统进行改进，因此，与现有技术相比，本实用新型具有定量取样、避免空气接触产生副反应、安全环保、可靠性好且使用寿命长的优点。

当然，实施本申请内容的任何一个具体实施例，并不一定同时具有以上全部的技术效果。

附图说明

图1为本实用新型的连接示意图。

具体实施方式

以下结合附图，具体说明本实用新型。