[实用新型]一种气体质量流量调节控制器

说明书

本实用新型公开了一种气体质量流量调节控制器，包括带密封门的壳体，且密封门设有控制器、显示器和操作键，壳体的两侧均设有连接口，且连接口通过气流通道相连接，壳体内设有温度调节装置，气流通道设有质量流量计和温度传感器，且气流通道靠近两侧的连接口处均设有洗气装置、压力传感器和红外检测器。本实用新型设计合理，结构简单，安装方便，功能多样化，既可以调节气体质量流量，又可以实现气体组分的定性定量分析，提高实用性。

技术领域

本实用新型具体涉及一种气体质量流量调节控制器。

背景技术

质量流量控制器用于对流体的质量流量进行精密测量和控制。在半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空灯多钟领域的科研和生产中有着重要的应用。但现有的质量流量控制器功能单一，不具备组分检测功能。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种气体质量流量调节控制器，以解决上述背景技术中所提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供以下技术方案：一种气体质量流量调节控制器，包括带密封门的壳体，且密封门设有控制器、显示器和操作键，其结构要点在于：壳体的两侧均设有连接口，且连接口通过气流通道相连接，壳体内设有温度调节装置，气流通道设有质量流量计和温度传感器，且气流通道靠近两侧的连接口处均设有洗气装置、压力传感器和红外检测器。

作为优选的，密封门和壳体之间设有密封条，且密封门和壳体通过螺丝固定。

作为优选的，控制器包括数据处理模块、数据传输模块、与压力传感器连接的压力检测模块、与温度传感器连接的温度检测模块、与质量流量计连接的质量流量检测模块和与红外检测器连接的组分检测模块，且数据处理模块通过数据传输模块分别与温度调节装置、压力检测模块、温度检测模块、质量流量检测模块和组分检测模块信号连接。

作为优选的，气流通道为螺旋形或折线形或波浪形。

作为优选的，质量流量计的数量为三个，且在气流通道上均匀布置。

作为优选的，温度调节装置包括加热装置和制冷装置。

与现有技术相比，本实用新型设计合理，结构简单，安装方便，功能多样化，既可以调节气体质量流量，又可以实现气体组分的定性定量分析，提高实用性。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构示意图；

图2为本实用新型的内部结构示意图；

图3为本实用新型控制器的结构示意图

图中：1-密封门，2-壳体，3-显示器，4-操作键，5-连接口，6-气流通道，7-温度调节装置，8-质量流量计，9-温度传感器，10-洗气装置，11-压力传感器，12-红外检测器，13-数据处理模块，14-数据传输模块，15-压力检测模块，16-温度检测模块，17-质量流量检测模块，18-组分检测模块。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步的解释说明，但不限制本实用新型的保护范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。