[实用新型]一种单晶石英坩埚切边倒棱机的新型开合式定位装置有效

专利信息
申请号: 201820480963.X 申请日: 2018-04-04
公开(公告)号: CN208084702U 公开(公告)日: 2018-11-13
发明(设计)人: 祝立君;于宏宇;王建龙;周鼎军;左立超 申请(专利权)人: 内蒙古欧晶科技股份有限公司;天津康帝德科技有限公司
主分类号: B28D7/04 分类号: B28D7/04;B28D7/00
代理公司: 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 代理人: 刘洪勋
地址: 010070 内蒙古自*** 国省代码: 内蒙古;15
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摘要:
搜索关键词: 坩埚 径向定位机构 单晶石英坩埚 轴向定位机构 本实用新型 定位模组 定位装置 主动定位 倒棱机 开合式 模组 切边 定位精度高 径向定位 人工成本 生产效率 使用性能 水平设置 轴向定位 自动校准 承载轴 夹紧 自动化 配合
【说明书】:

实用新型公开了一种单晶石英坩埚切边倒棱机的新型开合式定位装置,其特征在于,包括主动定位模组和从动定位模组,主动定位模组包括轴向定位机构和径向定位机构,径向定位机构水平设置,用于承载轴向水平放置的待定位坩埚,从动定位模组设置于径向定位机构的正上方,用于与径向定位机构配合夹紧坩埚对其进行径向定位,轴向定位机构设置于待定位坩埚底部一侧的轴向上,用于抵靠住坩埚实现轴向定位,本实用新型不仅结构简单,牢固可靠,操作便捷,取送坩埚动作与各部件不存在操作干扰,可避免因碰撞而降低其使用性能,而且由机器自动校准,定位精度高,人工成本低,生产效率高,适用范围广,同时也为后续自动化取送坩埚提供了可能。

技术领域

本实用新型涉及石英坩埚制造加工技术领域,尤其涉及一种单晶石英坩埚切边倒棱机的新型开合式定位装置。

背景技术

近年来,随着环保能源不断被重视和发展,太阳能作为绿色能源受到世界各国的普遍关注,并得到了广泛地开发和利用,这使得用于太阳能转换的单晶硅的用量急剧增加,从而促进了单晶硅生产的快速发展。因此,单晶石英坩埚作为熔硅的载体和单晶硅铸锭生产过程中不可替代的关键消耗性器件,对其需求量也与日俱增。

单晶石英坩埚切边倒棱机是单晶石英坩埚生产制造过程中必不可少的设备,单晶石英坩埚生产出来后,根据尺寸要求,首先要对其进行切割和倒边处理,切除单晶石英坩埚边沿的不良部分,确保其高度达到工艺要求。目前,单晶石英坩埚切边倒棱机的传统定位方式一般都采用三爪卡盘定位,此装置为封闭式结构,使用切边倒棱机对单晶石英坩埚的边沿进行加工处理时,需要依靠人工搬运的方式将单晶石英坩埚放在开口的三爪中间,然后旋转卡盘,三爪夹紧坩埚,做轴向和径向定位。当坩埚在机床主轴卡盘内定位完成后才能进行切边倒棱。

但是,随着市场需求的变化,单晶石英坩埚的尺寸逐渐增大,28、32和36英寸的大口径单晶石英坩埚逐渐成为主流。大口径单晶石英坩埚,不仅体积大,而且重量重,有的重量甚至高达近50kg以上,极其不利于搬移操作,人工将坩埚从开口处送入或搬出的方式一般仅适用于16~26英寸的单晶石英坩埚。对于大尺寸单晶石英坩埚,仅依靠人工很难实现,因此,三爪卡盘定位已无法适应大尺寸单晶石英坩埚的切边倒边加工。此外,传统的采用人工方式把单晶石英坩埚安装到主轴卡盘内进行加工的方法,定位精度需要人工校准,并且需要反复用定位仪进行调整定位,不仅工作效率低下,而且在安装过程中单晶石英坩埚容易受到碰撞,形成内应力,从而降低了单晶石英坩埚在使用中的安全性能。

有鉴于此,特提出本实用新型。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种单晶石英坩埚切边倒棱机的新型开合式定位装置,替代了传统的三爪卡盘定位装置,不仅结构简单,牢固可靠,操作便捷,取送坩埚动作与各部件不存在操作干扰,可避免因碰撞而降低其使用性能,而且由机器自动校准,定位精度高,大大节约了人力资源,提高了生产效率,此外,可以满足不同尺寸的坩埚,适用范围广。同时,也为后续自动化取送坩埚提供了可能。

为了实现上述目的,本实用新型提供的一种单晶石英坩埚切边倒棱机的新型开合式定位装置,其特征在于,包括主动定位模组和从动定位模组,所述主动定位模组包括轴向定位机构和径向定位机构,所述径向定位机构水平设置,用于承载轴向水平放置的待定位坩埚,所述从动定位模组设置于径向定位机构的正上方,用于与径向定位机构配合夹紧坩埚对其进行径向定位,所述轴向定位机构设置于待定位坩埚底部一侧的轴向上,用于抵靠住坩埚实现轴向定位。

优选地,所述从动定位模组包括升降气缸,光轴导轨和从动滚轮,所述升降气缸推杆朝下竖直设置,所述光轴导轨为两条,竖直设置于升降气缸的两侧,所述从动滚轮为两个,通过固定板连接于两条光轴导轨的底端,所述从动滚轮位于同一水平面上,其轴向与待定位坩埚的轴向平行,两个从动滚轮之间的间隙小于待定位坩埚的直径以稳定压紧坩埚。

优选地,所述径向定位机构包括主动滚轮,所述主动滚轮为两个,位于同一水平面上,其轴向与待定位坩埚的轴向平行,两个主动滚轮之间的间隙小于待定位坩埚的直径以稳定承托坩埚。

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