[实用新型]一种UV-LED光源曝光模拟平台有效

专利信息
申请号: 201820480199.6 申请日: 2018-04-08
公开(公告)号: CN208092433U 公开(公告)日: 2018-11-13
发明(设计)人: 张博;李康;奈吉儿·库帕儿;刘琴;许厚吉 申请(专利权)人: 河南百合特种光学研究院有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20;G09B9/00
代理公司: 新乡市平原智汇知识产权代理事务所(普通合伙) 41139 代理人: 杨杰
地址: 453000 河南*** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 水平滑槽 调节板 固定板 转轴 螺母 本实用新型 模拟平台 正面固定 曝光 竖板 支架 强光 模拟实验平台 活动连接有 光路系统 光学性能 螺纹连接 曝光光源 内底壁 平面镜 曲面镜 下表面 紫外线 单门 合页 内壁 人眼 转把 转杆 检测 伤害
【说明书】:

实用新型公开了一种UV‑LED光源曝光模拟平台,包括实验室,实验室的正面固定连接有竖板,竖板的一侧设置有固定连接在实验室内底壁的支架,支架的顶部固定连接有顶板,顶板的下表面固定连接有固定板,固定板的正面固定连接有调节板,调节板的正面开设有水平滑槽,水平滑槽的内壁活动连接有转轴,转轴的一端固定螺纹连接有螺母。本实用新型通过设置固定板、调节板、水平滑槽、转轴、螺母、短支、转杆、转把、第二合页和单门,解决了没有专门的UV‑LED光源的光路系统曝光模拟实验平台,并减少紫外线及强光对人眼的伤害,曲面镜和平面镜角度不可调节,不便于检测曝光光源光学性能的问题。

技术领域

本实用新型涉及曝光机技术领域,具体为一种UV-LED光源曝光模拟平台。

背景技术

应用于PCB线路板制造、半导体生产以及高精密线路曝光的传统曝光机能耗大,维护成本高。近年来,随着半导体技术的快速发展,新一代绿色环保UV-LED平行光光源凭借其省电节能,成本低,使用寿命长,稳定性高等优势占领市场前沿。使用UV-LED平行光光源替代传统的汞灯光源面临着曝光系统光路结构的改变。但目前并没有专门针对UV-LED光源光路系统曝光模拟的实验平台,如果直接在现有曝光机里面进行改造实验的话,成本高,而且不方便进行光路的调整实验。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种UV-LED光源曝光模拟平台,解决了没有专门的UV-LED光源的光路系统曝光模拟实验平台,并减少紫外线及强光对人眼的伤害,曲面镜和平面镜角度不可调节,不便于检测曝光光源光学性能的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种UV-LED光源曝光模拟平台,包括实验室,所述实验室的正面固定连接有竖板,所述竖板的一侧设置有固定连接在实验室内底壁的支架,所述支架的顶部固定连接有顶板,所述顶板的下表面固定连接有固定板,所述固定板的正面固定连接有调节板,所述调节板的正面开设有水平滑槽,所述水平滑槽的内壁活动连接有转轴,所述转轴的一端固定螺纹连接有螺母,所述转轴的外表面套接有曲面镜,所述支架的一侧固定连接有横杆,所述横杆的外表面滑动连接有滑动套,所述滑动套的顶部固定连接有检测台,所述实验室一侧的内壁活动连接有第一合页,所述实验室通过第一合页活动连接有对开门,所述对开门的一侧固定连接有把手,所述对开门的表面固定连接有亚克力板,所述竖板的另一侧设置有固定连接在实验室内底壁的支杆,所述支杆的顶部设置有光源箱,所述支杆的一侧固定连接有短支,所述短支的正面转动连接有转杆,所述转杆的底部焊接有转把,所述转杆的外表面套接有平面镜,所述实验室另一侧的内壁活动连接有第二合页,所述实验室通过第二合页转动连接有单门。

优选的,所述滑动套的数量为两个,且两个滑动套以检测台的中线为对称轴对称设置在检测台底部的正面和背面。

优选的,所述横杆的底部设置有固定连接在支架一侧的稳固杆。

优选的,所述亚克力板的数量为两个,且两个亚克力板通过门梁固定连接。

优选的,所述转杆的一端贯穿并延伸至短支的背面。

(三)有益效果

本实用新型提供了一种UV-LED光源曝光模拟平台,具备以下有益效果:

(1)本实用新型通过设置固定板、调节板、水平滑槽、转轴和螺母可以在曲面镜使用的时候调节曲面镜的角度,从而使曲面镜将光源箱发射出的紫外光转换为平行光的效果更好,而且将螺母拧松还可以调节转轴的水平位置,从而来调节曲面镜的水平距离,使得曲面镜的稳定性更好,通过设置第一合页、对开门、把手、亚克力板和门梁,可以在光源检测之前方便曲面镜角度的调节,亚克力板的设置可以在光源检测时方便对检测台的观测。

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