[实用新型]全口径环形抛光中抛光盘形状误差的检测装置有效
| 申请号： | 201820473860.0 | 申请日： | 2018-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN208067952U | 公开（公告）日： | 2018-11-09 |
| 发明（设计）人： | 廖德锋;赵世杰;谢瑞清;孙荣康;任乐乐;王健;许乔 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | B24B13/00 | 分类号： | B24B13/00;B24B49/12 |
| 代理公司： | 成都希盛知识产权代理有限公司 51226 | 代理人： | 蒲敏 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抛光盘 形状误差 辅助检测支架 本实用新型 环形抛光 检测装置 直线导轨 全口径 激光位移传感器 检测 辅助检测 元件孔 溜板 水槽 抛光盘表面 直线度误差 参考对象 宏观轮廓 平面贴合 引入系统 种检测 平滑 下板 水面 | ||
1.全口径环形抛光中抛光盘形状误差的检测装置，其特征在于：在直线导轨(9)上设置有溜板(10)，在所述溜板(10)上设置有L形辅助检测支架(11)、第一激光位移传感器(12)和第二激光位移传感器(13)，在所述直线导轨(9)的下方设置有水槽(20)，在所述L形辅助检测支架(11)的下板上设置有元件孔，在所述元件孔内设置有辅助检测平板(14)。
2.如权利要求1所述的全口径环形抛光中抛光盘形状误差的检测装置，其特征在于：所述L形辅助检测支架(11)限定辅助检测平板(14)在竖直方向上自由浮动。
3.如权利要求1所述的全口径环形抛光中抛光盘形状误差的检测装置，其特征在于：所述第一激光位移传感器(12)的检测点指向水槽(20)内的水面，所述第二激光位移传感器(13)的检测点指向辅助检测平板(14)的上表面。
4.如权利要求1所述的全口径环形抛光中抛光盘形状误差的检测装置，其特征在于：所述水槽(20)设置在抛光盘(2)上。
5.如权利要求1所述的全口径环形抛光中抛光盘形状误差的检测装置，其特征在于：所述辅助检测平板(14)的下表面与抛光盘(2)上表面贴合，所述辅助检测平板(14)的尺寸大于抛光盘(2)上表面沟槽的最大尺寸。
6.如权利要求1所述的全口径环形抛光中抛光盘形状误差的检测装置，其特征在于：所述第一激光位移传感器(12)和第二激光位移传感器(13)通过磁力表座固定在溜板(10)上。
7.如权利要求1所述的全口径环形抛光中抛光盘形状误差的检测装置，其特征在于：所述第一激光位移传感器(12)和第二激光位移传感器(13)检测的距离数据通过两根数据线输送至PC端进行记录和处理。
8.如权利要求1所述的全口径环形抛光中抛光盘形状误差的检测装置，其特征在于：所述水槽(20)的形状为长方形，其长度方向与直线导轨(9)对齐，所述水槽(20)的长度不小于直线导轨(9)的移动行程。
9.如权利要求1所述的全口径环形抛光中抛光盘形状误差的检测装置，其特征在于：所述溜板(10)通过伺服电机和丝杠进行精确定位和移动速度控制。
10.如权利要求1所述的全口径环形抛光中抛光盘形状误差的检测装置，其特征在于：所述辅助检测平板(14)的上表面和下表面的平面度以及等厚精度优于1um。
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