[实用新型]一种用于晶圆厚度及弯曲度检测的运动平台

权利要求书

1.一种用于晶圆厚度及弯曲度检测的运动平台，其特征在于：包括基座(1)、Y1向气浮导轨(5)、Y2向气浮导轨(6)、Y1向气浮滑块(7)、Y2向气浮滑块(8)、X1向气浮横梁导轨(9)、X2向气浮横梁导轨(10)、Y1向驱动连接件(13)、Y2向驱动连接件(14)、X1向气浮滑块(15)、X2向气浮滑块(16)、载物板(19)、Y1向电机定子(20)、Y1向电机动子(21)、Y2向电机定子(22)、Y2向电机动子(23)、X1向电机定子(24)、X2向电机定子(25)、上光谱共焦传感器(26)、Z轴滑台(27)和下光谱聚焦传感器(41)；

所述基座(1)的上端一侧安装有左立柱(2)，所述基座(1)的另一侧安装有右立柱(4)，所述右立柱(4)和左立柱(2)的上端安装有大理石横梁(3)，所述基座(1)的上端正对大理石横梁(3)下端位置分别设置有Y1向气浮导轨(5)和Y2向气浮导轨(6)，所述Y1向气浮导轨(5)和Y2向气浮导轨(6)的内侧分别安装有Y1向气浮滑块(7)和Y2向气浮滑块(8)，所述Y1向气浮滑块(7)和Y2向气浮滑块(8)之间固定安装有X1向气浮横梁导轨(9)和X2向气浮横梁导轨(10)，所述X1向气浮横梁导轨(9)和X2向气浮横梁导轨(10)的上端分别对应安装有X1向气浮滑块(15)和X2向气浮滑块(16)，X1向气浮横梁导轨(9)和X2向气浮横梁导轨(10)与X1向气浮滑块(15)和X2向气浮滑块(16)通过载物板连接件一(17)、载物板连接件二(18)与载物板(19)连接，所述X1向气浮横梁导轨(9)和X2向气浮横梁导轨(10)的内侧分别设置有X1向电机定子(24)和X2向电机定子(25)，所述载物板连接件一(17)和载物板连接件二(18)的下端分别安装有X1向气浮滑块(15)、X1向电机定子(24)和X2向气浮滑块(16)、X2向电机定子(25)，所述X1向气浮横梁导轨(9)和X2向气浮横梁导轨(10)的下端分别安装有X向导轨加强筋一(11)和X向导轨加强筋二(12)；

所述大理石横梁(3)的中间位置安装有Z轴滑台(27)，所述Z轴滑台(27)与大理石横梁(3)之间设置有Z轴滑台连接件(28)，所述Z轴滑台(27)靠近载物板(19)的一侧安装有上光谱共焦传感器(26)，所述Y1向气浮导轨(5)和Y2向气浮导轨(6)的外侧分别安装有Y1向电机定子(20)和Y2向电机定子(22)，所述Y1向电机定子(20)和Y2向电机定子(22)的上端分别安装有Y1向电机动子(21)和Y2向电机动子(23)，所述Y1向电机动子(21)和Y2向电机动子(23)的上端分别安装有Y1向驱动连接件(13)和Y2向驱动连接件(14)，所述载物板(19)的内部凹槽与上光谱共焦传感器(26)对应位置设置有下光谱聚焦传感器(41)。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆厚度及弯曲度检测的运动平台，其特征在于：所述Y1向气浮导轨(5)和Y2向气浮导轨(6)还包括：Y1向光栅尺(29)、Y1向读数头(30)、Y2向光栅尺(31)和Y2向读数头(32),其中，所述Y1向气浮导轨(5)和Y2向气浮导轨(6)的外侧上端均安装有Y1向光栅尺(29)和Y2向光栅尺(31)，所述Y1向驱动连接件(13)和Y2向驱动连接件(14)下端与Y1向光栅尺(29)和Y2向光栅尺(31)对应位置分别安装有Y1向读数头(30)和Y2向读数头(32)。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆厚度及弯曲度检测的运动平台，其特征在于：所述X2向电机定子(25)和X1向电机定子(24)还包括：X1向电机动子(33)、X2向电机动子(34)、X2向光栅尺(35)、X2向读数头(36)、X1向光栅尺(37)和X1向读数头(38)，其中，所述X2向电机定子(25)和X1向电机定子(24)的上端分别安装有X2向电机动子(34)和X1向电机动子(33)，所述X1向气浮横梁导轨(9)和X2向气浮横梁导轨(10)的内部分别设置有X1向光栅尺(37)和X2向光栅尺(35)，所述X1向光栅尺(37)对应的X1向读数头(38)，X2向光栅尺(35)对应的X2向读数头(36)，分别安装在载物板连接件二(18)、载物板连接件一(17)上。