[实用新型]一种利用化学气相沉积制备复合材料的装置有效
申请号: | 201820463214.6 | 申请日: | 2018-04-03 |
公开(公告)号: | CN208362458U | 公开(公告)日: | 2019-01-11 |
发明(设计)人: | 蒋旭;田瑞雪 | 申请(专利权)人: | 江苏先丰纳米材料科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/26 | 分类号: | C23C16/26;C23C16/455 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 孙昱 |
地址: | 211805 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 收集面 制备复合材料 收集装置 化学气相沉积设备 化学气相沉积 本实用新型 喷雾设备 雾化喷头 传动轮 驱动传动轮 材料复合 喷雾方式 相对设置 复合材料 出料口 电机 复合 | ||
1.一种利用化学气相沉积制备复合材料的装置,其特征在于,包括化学气相沉积设备(1),收集装置(2)和喷雾设备(3),其中收集装置(2)设置于化学气相沉积设备(1)出料口处;收集装置(2)包括收集面(21)、设置于收集面(21)下方带动收集面(21)进行位移的传动轮(22)以及与传动轮(22)连接的用于驱动传动轮(22)的电机(23),收集面(21)与化学气相沉积设备(1)出料口相邻设置;喷雾设备(3)包括雾化喷头(31),所述雾化喷头(31)与收集面(21)相对设置。
2.根据权利要求1所述的利用化学气相沉积制备复合材料的装置,其特征在于,所述化学气相沉积设备(1)为三温区化学气相沉积设备。
3.根据权利要求1所述的利用化学气相沉积制备复合材料的装置,其特征在于,收集装置(2)下方安装底座,底座设置在滑轨上,可沿滑轨进行位移。
4.根据权利要求1所述的利用化学气相沉积制备复合材料的装置,其特征在于,喷雾设备(3)还包括物料储存容器(32)和气体压缩泵(33),物料储存容器(32)通过管道依次与气体压缩泵(33)和雾化喷头(31)连接。
5.根据权利要求1所述的利用化学气相沉积制备复合材料的装置,其特征在于,雾化喷头(31)为超声波雾化喷头,气体压缩泵(33)为气动隔膜泵。
6.根据权利要求1所述的利用化学气相沉积制备复合材料的装置,其特征在于,收集面(21)为传送带,通过传动轮(22)实现传送带传送。
7.根据权利要求3所述的利用化学气相沉积制备复合材料的装置,其特征在于,滑轨上设置丝杆传动电机,通过丝杆传动实现底座沿滑轨位移。
8.根据权利要求6所述的利用化学气相沉积制备复合材料的装置,其特征在于,传送带的材质为金属或尼龙。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的