[实用新型]一种利用化学气相沉积制备复合材料的装置有效

专利信息
申请号: 201820463214.6 申请日: 2018-04-03
公开(公告)号: CN208362458U 公开(公告)日: 2019-01-11
发明(设计)人: 蒋旭;田瑞雪 申请(专利权)人: 江苏先丰纳米材料科技有限公司
主分类号: C23C16/26 分类号: C23C16/26;C23C16/455
代理公司: 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 代理人: 孙昱
地址: 211805 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 收集面 制备复合材料 收集装置 化学气相沉积设备 化学气相沉积 本实用新型 喷雾设备 雾化喷头 传动轮 驱动传动轮 材料复合 喷雾方式 相对设置 复合材料 出料口 电机 复合
【权利要求书】:

1.一种利用化学气相沉积制备复合材料的装置,其特征在于,包括化学气相沉积设备(1),收集装置(2)和喷雾设备(3),其中收集装置(2)设置于化学气相沉积设备(1)出料口处;收集装置(2)包括收集面(21)、设置于收集面(21)下方带动收集面(21)进行位移的传动轮(22)以及与传动轮(22)连接的用于驱动传动轮(22)的电机(23),收集面(21)与化学气相沉积设备(1)出料口相邻设置;喷雾设备(3)包括雾化喷头(31),所述雾化喷头(31)与收集面(21)相对设置。

2.根据权利要求1所述的利用化学气相沉积制备复合材料的装置,其特征在于,所述化学气相沉积设备(1)为三温区化学气相沉积设备。

3.根据权利要求1所述的利用化学气相沉积制备复合材料的装置,其特征在于,收集装置(2)下方安装底座,底座设置在滑轨上,可沿滑轨进行位移。

4.根据权利要求1所述的利用化学气相沉积制备复合材料的装置,其特征在于,喷雾设备(3)还包括物料储存容器(32)和气体压缩泵(33),物料储存容器(32)通过管道依次与气体压缩泵(33)和雾化喷头(31)连接。

5.根据权利要求1所述的利用化学气相沉积制备复合材料的装置,其特征在于,雾化喷头(31)为超声波雾化喷头,气体压缩泵(33)为气动隔膜泵。

6.根据权利要求1所述的利用化学气相沉积制备复合材料的装置,其特征在于,收集面(21)为传送带,通过传动轮(22)实现传送带传送。

7.根据权利要求3所述的利用化学气相沉积制备复合材料的装置,其特征在于,滑轨上设置丝杆传动电机,通过丝杆传动实现底座沿滑轨位移。

8.根据权利要求6所述的利用化学气相沉积制备复合材料的装置,其特征在于,传送带的材质为金属或尼龙。

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