[实用新型]一种石英坩埚喷涂台的加热装置有效

专利信息
申请号: 201820453185.5 申请日: 2018-04-02
公开(公告)号: CN208288383U 公开(公告)日: 2018-12-28
发明(设计)人: 谢其林;李伯军 申请(专利权)人: 苏州思远智能科技有限公司
主分类号: B05D3/04 分类号: B05D3/04
代理公司: 常州市权航专利代理有限公司 32280 代理人: 黄晶晶
地址: 215000 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 加热腔室 石英坩埚 加热腔 风机 本实用新型 加热装置 保温层 加热管 喷涂台 室内 气囊 喷涂 工件支撑板 分开布置 加热均匀 加热效果 造价成本 开口端 风叶 伸入 外壁 开口 损伤
【说明书】:

本实用新型涉及一种石英坩埚喷涂台的加热装置,包括喷涂机架,其创新点在于:还包括加热管、风机、气囊和保温层,所述喷涂机架包括带有开口的加热腔室,所述加热腔室内的底部设有工件支撑板,所述加热腔室的四周和背部具有保温层,且加热腔室内的四周和背部均设有加热管,所述加热腔室的外壁上设有多个分开布置的风机,且风机的风叶伸入加热腔室内,所述加热腔室开口端面的周边设有气囊。本实用新型不仅加热均匀、使得加热效果好,而且结构简单、造价成本低,以及不会对石英坩埚造成损伤。

技术领域

本实用新型涉及一种加热装置,具体涉及一种石英坩埚喷涂台的加热装置。

背景技术

光伏发电用的硅片,原料是多晶硅锭,用多晶铸锭炉进行原生硅定向生长而成。铸锭炉每炉次都需要使用一只长为一米高为半米的四方形石英坩埚盛放硅原料,放进铸锭炉进行加热融化再结晶。石英坩埚内表面需要用特制浆料进行喷涂、烘干,形成一层涂层,保护硅料不受污染。

现有的石英坩埚喷涂台,是一个钢梁制的架子,且架子的上下左右四周和背面安装有内嵌加热棒的铝板,使用时,将石英坩埚侧立,放进架子内,坩埚的背面和一个侧面和加热铝板贴合,再启动移动气缸,带动加热铝板,压向坩埚的上面和另一个侧面的外侧,然后再启动加热棒加热,使铝板升温并将热量传导给坩埚,由人工或机器人手臂进行浆料的喷涂,用铝板的热量传递到坩埚的内侧,把浆料烘干并形成保护层。

这种结构的喷涂台有几个缺点:第一,加热不匀,由于加热板和坩埚壁都是硬材料,虽然加热板敷了一层薄橡胶,但面积大,不能保证整个面都能接触好,有的地方甚至接触不到,造成加热不匀,影响工艺效果。第二,移动气缸的压力,会对坩埚壁造成应力,有石英破碎的风险。第三,结构较复杂,造价也高。

发明内容

本实用新型的目的是:提供一种不仅加热均匀、使得加热效果好,而且结构简单、造价成本低,以及不会对石英坩埚造成损伤的石英坩埚喷涂台的加热装置。

为了达到上述目的,本实用新型的技术方案是:一种石英坩埚喷涂台的加热装置,包括喷涂机架,其创新点在于:还包括加热管、风机、气囊和保温层,

所述喷涂机架包括带有开口的加热腔室,所述加热腔室内的底部设有工件支撑板,

所述加热腔室的四周和背部具有保温层,且加热腔室内的四周和背部均设有加热管,所述加热腔室的外壁上设有多个分开布置的风机,且风机的风叶伸入加热腔室内,

所述加热腔室开口端面的周边设有气囊。

在上述技术方案中,所述加热腔室由四周的侧板和具有方形凸台的背板组成,且四周的侧板和背板具有保温层。

在上述技术方案中,所述加热腔室内的背部设有两个上下分开布置的加热管。

在上述技术方案中,所述加热腔室背部的内壁上设有密封条。

在上述技术方案中,所述加热腔室开口的端面上设有密封套,且加热腔室通过密封套与气囊形成密封连接。

在上述技术方案中,所述喷涂机架的底部设有底座。

在上述技术方案中,所述保温层为岩棉、或者是玻璃棉、或者是聚氨酯保温板。

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