[实用新型]一种太阳能曝光机框架CCD定位装置

说明书

本实用新型公开了一种太阳能曝光机框架CCD定位装置，包括相机部分，气缸部分，相机部分包括CD相机，CCD镜头，环形视觉光源，环形视觉光源上部分设置红外灯束，CCD相机上部分与CCD镜头连接，CCD相机通过相机固定板固定在相机调节板上，相机调节板固定在小面板上，所述气缸部分包括升降气缸，浮动接头通过连接件固定在小面板上，小面板固定在滑块上，滑块沿着滑轨升降滑动，所述相机部分和气缸部分随着滑块沿着滑轨上下滑动，通过CCD定位装置抓取台框上的定位点，反馈对位偏差，通过伺服电机驱动台框完成台框的高精度定位，相比较传统的机械定位精度更高，速度更快，且没有定位磨损的情况，减少人工干预,提高了机器的稳定工作周期。

技术领域

本实用新型属于曝光机领域，尤其涉及一种太阳能曝光机框架CCD定位装置。

背景技术

曝光机即电子束曝光机是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备。曝光机是20 世纪60年代初从扫描电子显微镜基础上发展起来，70 年代以后广泛应用于半导体集成电路制造业。

在计算机的控制下，利用聚焦电子束对有机聚合物（通常称为电子抗蚀剂或光刻胶）进行曝光，受电子束辐照后的光刻胶，其物理化学性质发生变化，在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域，从而在抗蚀剂上形成精细图形。紫外线曝光机是指通过开启灯光发出UVA波长的紫外线，将胶片或其他透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的机器设备。

现有的曝光机在曝光之前，通过CCD检测上下底片的位置，PCB 板与底片的位置，将位置信息上传至工控机，通过工控机计算位置偏 差，下传至控制系统驱动各个对位系统移动。

在申请号为：CN201320879806.3，申请日为:20131230名称为： 半自动LED曝光机CCD光学监视系统的专利中，公开了一种半自动LED曝光机CCD光学监视系统，包括基座固定码和固定于基座固定码上的基座，所述基座的四个角上分别设置有CCD镜头，每个CCD镜头独立设置于移动板上，分别由X轴电机和X轴丝杆、Y轴电机和Y轴丝杆带动在X轴方向和Y轴方向上调整，由升降气缸带动上下位置调整，此实用新型的半自动LED曝光机CCD光学监视系统能根据PCB板和菲林底片的情况，自动调整CCD镜头的成像位置，实现清晰成像，为纠偏对位系统提供可靠的位置成像数据。

发明内容

本实用新型所解决的技术问题在于提供一种太阳能曝光机框架CCD定位装置。

本实用新型的的目的可以通过以下技术方案来实现：

一种太阳能曝光机框架CCD定位装置，包括相机部分，气缸部分，

所述相机部分：

包括CCD相机1，CCD镜头2，环形视觉光源3，大面板5，所述CCD相机1上部分与所述CCD镜头2连接，所述CCD镜头2穿过相机固定板6，所述相机固定板6上部固定光源调节板7，所述CCD镜头2上方固定一个光源固定板8，所述光源固定板8固定在光源调节板7上，所述环形视觉光源3底部安装固定在光源固定板8上，所述环形视觉光源3上部分设置红外灯束13；

所述CCD相机1通过相机固定板6固定在相机调节板9上，所述相机调节板9固定在小面板10上，所述小面板10固定在滑块12上，所述滑块12沿着滑轨11升降滑动，所述滑轨11固定在所述大面板5正面左侧；

所述气缸部分：

包括升降气缸4：所述升降气缸4上端穿过气缸支撑座401，所述气缸支撑座401固定在大面板5正面右侧中间部位， 所述升降气缸4上端与浮动接头402下端相连接，所述浮动接头402上端穿过连接件403，所述连接件403一侧固定在小面板10一侧；

所述相机部分和气缸部分随着滑块12沿着滑轨11上下滑动。