[实用新型]一种半导体电阻率测试单元以及测试仪

说明书

本实用新型提供一种半导体电阻率测试单元以及测试仪，包括：信号发生器，第一运算放大器，第二运算放大器，第三运算放大器，第一二极管消波电路，第二二极管消波电路，恒流源电路，第一乘法器，第二乘法器，探头组件，AD转换模块，单片机，显示模块以及用于获取检测半导体电阻率指令的按键模块；信号发生器的输入端，AD转换模块的输出端，显示模块输入端以及按键模块的输出端分别与单片机连接；半导体电阻率测试单元在进行测试时，运算放大器进行放大处理后，二极管消波电路进行消波处理，使信号具有上下限位，减少失真度，提升了测量准确度。

技术领域

本实用新型涉及半导体电阻率测试领域，尤其涉及一种半导体电阻率测试单元以及测试仪。

背景技术

目前，半导体材料得到极大的发展，在半导体材料得到发展的同时，半导体的检测手段和检测方式也得到了长足的发展，半导体电阻材料的检测与分析成为半导体体系中不可缺少的研究过程。

半导体材料得到长足发展的同时，电路板以及半导体器件也得到了不断发展与提高，电路板以及半导体器件不断出现性能更好的产品。当然电路板以及半导体器件的发展，也使得对半导体材料的质量和工艺提出了更高的要求，对半导体材料的电阻率检测是不可或缺的关键步骤。

目前，专利号申请号为：201710084825X，公开了一种便携式半导体非接触电阻率测试仪及使用方法，在该文件中，信号发生模块包捂信号发生电路、信号处理电路，信号发生电路包括：正弦方波发生器、工频陷波器、带通滤波器、恒流源测量线圈电路、移相器等相关元件；正弦方波发生器的正弦波输出端依次连接工频陷波器、带通滤波器、恒流源测量线圈电路，恒流源测量线圈电路的测量线圈包括ZXB01、ZXB02输出接口，XR2206P正弦方波发生器的方波输出端包括FB01、FB02输出接口，FB02输出接口连接移相器；

信号处理电路包括一号输出回路、二号输出回路，二者均包括乘法器、二阶低通滤波器、放大电路、AD数据采集端口，乘法器包括正去波探头信号输入接口、参考方波输入接口、乘法器输出接口，所述乘法器输出接口依次连接二阶低通滤波器、放大电路、AD数据采集端口。其公开的内容中对信号的处理中，正弦信号发生器发送的信号分别发出方波信号和正弦波信号，在经过后续元件处理后对半导体进行电阻率测试，这种测试过程，容易增加发生信号的失真度，影响测量准确度。

发明内容

为了克服上述现有技术中的不足，本实用新型提供一种半导体电阻率测试单元以及测试仪，包括：信号发生器，第一运算放大器，第二运算放大器，第三运算放大器，第一二极管消波电路，第二二极管消波电路，恒流源电路，第一乘法器，第二乘法器，探头组件，AD转换模块，单片机，显示模块以及用于获取检测半导体电阻率指令的按键模块；

信号发生器的输入端，AD转换模块的输出端，显示模块输入端以及按键模块的输出端分别与单片机连接；

信号发生器的输出端分别与第一运算放大器的输入端，第二运算放大器的输入端以及第三运算放大器的输入端连接；

第一运算放大器的输出端与第一二极管消波电路的输入端连接，第一二极管消波电路的输出端与第一乘法器的第一输入端连接，第一乘法器的输出端与AD转换模块第一输入端连接；

第二运算放大器的输出端与恒流源电路输入端连接，恒流源电路输出端与探头组件输入端连接，探头组件输出端分别与第一乘法器的第二输入端和第二乘法器的第二输入端连接；

第三运算放大器的输出端与第二二极管消波电路的输入端连接，第二二极管消波电路的输出端与第二乘法器的第一输入端连接，第二乘法器的输出端与AD转换模块第二输入端连接。

信号发生器包括：电阻R1，电阻R2，电阻R3，电阻R4，电阻R5，电容C1，电容C2，电容C3，电容C4，二极管D1，二极管D2，运算放大器 Q1；