[实用新型]一种半导体电阻率测试机构

权利要求书

1.一种半导体电阻率测试机构，其特征在于，包括：操作台(1)，操作台(1)顶部设有操作台面(2)，操作台(1)底部设有支腿(3)；

操作台(1)内部设有PC机安置柜(4)，半导体电阻率测试仪安置柜(5)以及第一半导体材料安置柜(6)，第二半导体材料安置柜(7)；操作台(1)的侧部设有电源线通孔(8)；

PC机安置柜(4)，半导体电阻率测试仪安置柜(5)以及第一半导体材料安置柜(6)，第二半导体材料安置柜(7)均设有柜门；

第一半导体材料安置柜(6)内部设有用于放置半导体材料的多层安置架以及用于对安置架上半导体材料进行加热烘干的第一加热丝；

第一半导体材料安置柜(6)的门框设有第一方形凸沿(64)，第一方形凸沿(64)向第一半导体材料安置柜(6)外部凸出，第一半导体材料安置柜的柜门设有第一门板(61)，第一门板(61)的边部设有与第一方形凸沿(64)相适配的第一方形凹沿(62)；第一方形凹沿(62)卡合在第一方形凸沿(64)上；第一门板(61)上设有两个把手(63)；

操作台面(2)安置有显示器(31)，用于检测半导体电阻率的半导体电阻率测试仪(32)以及温湿度检测仪(33)；

PC机安置柜(4)内部安置有PC主机，PC主机与显示器(31)连接；

半导体电阻率测试仪安置柜(5)的底部铺设有防震垫。

2.根据权利要求1所述的半导体电阻率测试机构，其特征在于，

半导体电阻率测试仪(32)包括：单片机，10/100M网络接口，USB接口，RJ45网口，RS232串口，半导体电阻率测试仪(32)内置Linux操作系统；10/100M网络接口，console口，USB接口，RJ45网口，RS232串口分别与单片机连接；

PC主机设有console口，USB接口，RJ45网口，RS232串口，CPU，主板，内存，硬盘，人机交互装置以及PC电源；USB接口，RJ45网口，RS232串口，CPU，内存，硬盘均设置在主板上，console口，USB接口，RJ45网口，RS232串口，内存，硬盘以及人机交互装置分别与CPU连接；

PC机安置柜(4)内设有路由器；

半导体电阻率测试仪(32)和PC主机分别连接路由器，半导体电阻率测试仪(32)和PC主机通过路由器通信连接，使半导体电阻率测试仪(32)检测的数据信息传送至PC主机，PC主机将检测的半导体电阻率数据信息存储在硬盘中，并通过显示器(31)显示。

3.根据权利要求1所述的半导体电阻率测试机构，其特征在于，

温湿度检测仪(33)设置有RS232接口以及USB接口，温湿度检测仪(33)支持Modbus协议；

温湿度检测仪(33)与路由器连接，并通过路由器与PC主机通信连接，温湿度检测仪(33)将检测的环境温度和湿度信息传送至PC主机，PC主机将检测的温度和湿度信息存储在硬盘中，并通过显示器(31)显示。

4.根据权利要求1或2所述的半导体电阻率测试机构，其特征在于，

第二半导体材料安置柜(7)内部设有用于放置半导体材料的多层安置架以及用于对安置架上半导体材料进行加热烘干的第二加热丝；

第二半导体材料安置柜(7)的门框设有第二方形凸沿，第二方形凸沿向第二半导体材料安置柜(7)外部凸出，第二半导体材料安置柜的柜门设有第二门板，第二门板的边部设有与第二方形凸沿相适配的第二方形凹沿；第二方形凹沿卡合在第二方形凸沿上；第二门板上设有两个把手。

5.根据权利要求4所述的半导体电阻率测试机构，其特征在于，

第一方形凹沿(62)的内部贴敷有密封胶条；

方形凸沿(64)的外部贴敷有密封胶条；

防震垫采用海绵材料制作；

第一半导体材料安置柜(6)的内壁贴敷有隔热材料；

操作台(1)上设有用于控制第一加热丝开关的第一加热丝控制开关(9)，用于控制第二加热丝开关的第二加热丝控制开关(10)。