[实用新型]基于功分合路结构的大功率射频MEMS开关装置有效
| 申请号： | 201820428537.1 | 申请日： | 2018-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN207994020U | 公开（公告）日： | 2018-10-19 |
| 发明（设计）人： | 刘泽文;龚著浩;张玉龙 | 申请（专利权）人： | 苏州希美微纳系统有限公司 |
| 主分类号： | H01P1/10 | 分类号： | H01P1/10;H01P5/12;B81B7/00 |
| 代理公司： | 苏州唯亚智冠知识产权代理有限公司 32289 | 代理人： | 陈晓瑜 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微波传输线 衬底 共面波导传输线 大功率射频 功率容量 合路结构 开关结构 地线 分合 射频信号功率 本实用新型 前端设置 趋肤效应 驱动结构 悬浮结构 直接并联 左右两侧 悬浮地 合路 射频 架设 有功 分配 | ||
1.基于功分合路结构的大功率射频MEMS开关装置，包括有衬底(9)，其特征在于：所述衬底(9)上方分布有微波传输线(5)，所述微波传输线(5)的左右两侧设置有第一共面波导传输线地线(6)与第二共面波导传输线地线(10)，所述微波传输线(5)的前端设置有功分结构(1)，所述微波传输线(5)的后端设置有合路结构(2)，所述微波传输线(5)的上方架设有悬浮结构，所述功分结构(1)、合路结构(2)之间设置有开关结构，所述微波传输线(5)、衬底(9)之间设置有驱动结构。
2.根据权利要求1所述的基于功分合路结构的大功率射频MEMS开关装置，其特征在于：所述悬浮结构包括有悬浮地(4)，所述悬浮地(4)设置在开关结构之间，所述悬浮地(4)的左右两端均设置有空气桥(3)，所述空气桥(3)还与第一共面波导传输线地线(6)、第二共面波导传输线地线(10)相连。
3.根据权利要求2所述的基于功分合路结构的大功率射频MEMS开关装置，其特征在于：所述空气桥(3)为桥形结构，所述桥形结构的底部与悬浮地(4)相连，所述桥形结构的顶部分叉与第一共面波导传输线地线(6)、第二共面波导传输线地线(10)相连。
4.根据权利要求1所述的基于功分合路结构的大功率射频MEMS开关装置，其特征在于：所述功分结构(1)为T型结构造，或是为Y型结构造；所述合路结构(2)为T型结构造，或是为Y型结构造。
5.根据权利要求1所述的基于功分合路结构的大功率射频MEMS开关装置，其特征在于：所述开关结构为MEMS开关结构(7)。
6.根据权利要求5所述的基于功分合路结构的大功率射频MEMS开关装置，其特征在于：所述MEMS开关结构(7)为串联式开关，或是为并联式开关，或是为电容式开关，或是为电阻式开关。
7.根据权利要求1所述的基于功分合路结构的大功率射频MEMS开关装置，其特征在于：所述驱动结构为MEMS开关驱动电极(8)，所述MEMS开关驱动电极(8)包括下极板、引线、外接焊盘相互连接构成。
8.根据权利要求1所述的基于功分合路结构的大功率射频MEMS开关装置，其特征在于：所述衬底(9)为玻璃式衬底(9)，或是为陶瓷式衬底(9)，或是为高阻硅式衬底(9)。
9.根据权利要求1所述的基于功分合路结构的大功率射频MEMS开关装置，其特征在于：所述微波传输线(5)为共面波导传输线，或是为微带线。
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