[实用新型]一种PERC太阳电池背面激光开槽结构有效

申请号：	201820427644.2	申请日：	2018-03-28
公开（公告）号：	CN208127216U	公开（公告）日：	2018-11-20
发明（设计）人：	王岚;杨蕾;张元秋;余波;张鹏	申请（专利权）人：	通威太阳能（成都）有限公司
主分类号：	H01L31/0216	分类号：	H01L31/0216;H01L31/0224
代理公司：	成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230	代理人：	徐金琼
地址：	610255 四川省成都市***	国省代码：	四川;51
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摘要：
搜索关键词：	激光开槽载流子本实用新型背面电极三维流动开槽圆孔背面晶体硅太阳电池光电转化效率光生载流子六边形图形太阳能电池背面钝化对称结构二维流动后续工艺机械载荷激光光斑内部设置外部设置叠层排布三维空洞优化制作
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【权利要求书】：

1.一种PERC太阳电池背面激光开槽结构，包括内部设置有背面电极区(4)的背面钝化叠层(2)，其特征在于：所述背面电极区(4)四周设置有激光开槽区(1)，所述激光开槽区(1)外部设置有边沿区(3)，所述激光开槽区(1)整区排布利于优化激光光斑的正六边型槽。

2.根据权利要求1所述的一种PERC太阳电池背面激光开槽结构，其特征在于：所述正六边型槽的边长为0.6-2.4mm，边长间距为0-0.6mm，所述正六边型槽的深度为65-260nm，所述激光光斑线径宽度为10-80um，所述激光波段为360-1200nm，所述边沿区宽度为0.5-1mm。

3.根据权利要求1所述的一种PERC太阳电池背面激光开槽结构，其特征在于：所述正六边型槽通过镭射激光打孔机开槽。

4.根据权利要求1所述的一种PERC太阳电池背面激光开槽结构，其特征在于：所述背面钝化叠层(2)包括Al₂O₃薄膜和沉积在Al₂O₃薄膜上的Si₃N₄薄膜，所述Al₂O₃薄膜厚度为3-30nm，所述Si₃N₄薄膜厚度为60-230nm。

5.根据权利要求1所述的一种PERC太阳电池背面激光开槽结构，其特征在于：所述背面电极区(4)包括20个电极，所述20个电极呈5条4分段主栅分布，所述电极的宽度为1.5-2mm，长度为18-22mm。

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