[实用新型]一种等离子喷涂旋转靶材的背管工装夹具

说明书

本实用新型公开了一种等离子喷涂旋转靶材的背管工装夹具，包括第一芯轴、第二芯轴和背管锁紧装置，第一芯轴的内端部活动插接于第二芯轴的内端部，以实现调节第一芯轴和第二芯轴的总长度；第一芯轴的内端部或第二芯轴的内端部设置有芯轴锁紧装置，用于将第一芯轴锁紧于第二芯轴；第一芯轴的外端部和第二芯轴的外端部分别安装有一背管锁紧装置，其中的芯轴具有伸缩结构，能够适用于不同长度的基材背管，结构简单且冷却效果好。

技术领域

本实用新型涉及旋转靶材的工装夹具的技术领域，尤其是涉及一种等离子喷涂旋转靶材的背管工装夹具。

背景技术

目前，旋转靶材常用不锈钢管作为基材背管，使用等离子喷涂机制备靶材，喷涂作业的过程中需要对背管进行冷却，背管还需要保持旋转，一般采用的办法是，在背管内套装一根钢管，两端用螺母固定，然后在钢管中通入冷却水，通过钢管管壁的热传导对背管进行冷却，此办法存在冷却效果不理想、靶材涂层容易开裂和容易损伤背管内壁的密封面的问题，影响了产品的成品率和质量，而在加工不同长度的靶材背管时，由于工装夹具的装夹长度是固定的，每一个工装夹具只能装夹一种长度规格的背管，对于不同长度规格的背管不能通用，因此，对于每一种不同长度规格的旋转靶材的背管都需要定制一套专用工装夹具，生产车间需准备的工装夹具的数量非常多，十分浪费，因此有必要予以改进。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的第一目的是提供一种等离子喷涂旋转靶材的背管工装夹具，其中的芯轴具有伸缩结构，能够适用于不同长度的基材背管，结构简单，具有较强的通用性。

针对现有技术存在的不足，本实用新型的第二目的是提供一种等离子喷涂旋转靶材的背管工装夹具，能够装夹不同长度的基材背管，装夹长度的调节和装夹过程的拆装都很方便，且具有较好的冷却效果。

一种等离子喷涂旋转靶材的背管工装夹具，包括第一芯轴、第二芯轴和背管锁紧装置，第一芯轴的内端部活动插接于第二芯轴的内端部，以实现调节第一芯轴和第二芯轴的总长度；第一芯轴的内端部或第二芯轴的内端部设置有芯轴锁紧装置，用于将第一芯轴锁紧于第二芯轴；第一芯轴的外端部和第二芯轴的外端部分别安装有一背管锁紧装置，具有伸缩功能的芯轴，能够适用于不同长度的靶材背管。

在进一步的技术方案中，该芯轴锁紧装置包括成型于该第一芯轴内端部的凹部、成型于该第二芯轴内端部的凸部和定位螺丝杆，凸部活动插设于凹部；在凹部的开口端开设有定位螺孔，定位螺孔贯穿凹部的内壁和外壁，定位孔中螺接有一定位螺丝杆，定位螺丝杆的前端活动抵顶于凸部，用于将第一芯轴锁紧于第二芯轴。

该背管锁紧装置包括紧固螺母和用于夹紧靶材背管的压紧环，该第一芯轴和第二芯轴的外端部分别成型有肩位，位于第一芯轴和第二芯轴的两个肩位分别活动套设有一压紧环，压紧环的前端朝第一芯轴和第二芯轴的内端部方向延伸设定长度，紧固螺母螺栓连接于第一芯轴和第二芯轴的外端部并且抵顶于压紧环的后端。

在进一步的技术方案中，该背管锁紧装置的内端部设置有密封机构，包括挡水环、小密封圈和大密封圈，该第一芯轴和第二芯轴的外端部分别开设有安装肩位，安装肩位分别活动套设有一挡水环，小密封圈紧密套设于挡水环的安装肩位的底部，挡水环的内侧紧密抵压于小密封圈；

挡水环的外壁开设有防漏肩位，大密封圈紧密套设于防漏肩位的底部，该压紧环的前端与防漏肩位间隙配合并紧密抵压于大密封圈，防漏肩位的宽度比大密封圈的径宽略小，用于密封夹紧相应靶材背管的内壁，小密封圈和大密封圈优选为橡胶一体成型的橡胶密封圈，大密封圈受挤压后，其径宽增大，以紧密抵压至相应靶材背管的内壁，在该背管工装夹具进行喷涂工作时，其温度上升，致使小密封圈和大密封圈体积膨胀，进一步夹紧相应靶材背管的内壁和增加其密封性。

在进一步的技术方案中，该第一芯轴和第二芯轴的内端部或中部分别设置有一尼龙环，用于防止相应靶材背管安装于该背管工装夹具时发生刚性碰撞。