[实用新型]电子加速器钛箔支撑法兰结构

说明书

本实用新型涉及一种电子加速器钛箔支撑法兰结构，包括法兰本体、位于法兰本体中部的格栅，在所述的法兰本体上设有用于冷却法兰本体的冷却水道，所述的格栅相对于法兰本体的镂空比大于80%。通过格栅的设置起到支撑钛箔同时保证电子束穿透钛箔实现扫描，大于80%的镂空比进一步提高扫描的效率，冷却水道能够对法兰本体进行降温，提高法兰本体的使用寿命；整体结构简单，使用方便，提高低能电子加速器的使用范围。

技术领域

本实用新型涉及电子扫描技术领域，尤其是涉及一种电子加速器钛箔支撑法兰结构。

背景技术

电子加速器是一种通过高电压加速电子束，并把电子束引出轰击到扫描产品上，达到扫描改性的目的。通过加热电子加速器电子枪灯丝引出电子束，灯丝需加热至2000℃左右的高温，因此灯丝加热的过程中必须是在高真空的场合下进行，才能避免氧化烧断。电子束在加速的过程中避免由空气引起的衰减，也必须是高真空的场合。而钛箔就用于隔断真空和空气的一种由钛材料制成的薄膜。传统电子加速器由于能量较高，穿透性较好，可采用较厚的钛箔进行封闭，钛箔厚度在0.03mm-0.05mm，钛箔强度较好，因此可不需要支撑。

随着电子加速器的应用范围越来越广，低能电子加速器的不断应用。因为低能的电子加速器的能量很低，如采用厚钛箔密封，电子束在穿透钛箔时产生的损耗很大，甚至束流完全被钛箔吸收，发射不出来，因此必须减小钛箔的厚度，钛箔厚度可达到0.007mm-0.01mm，这么薄的钛箔强度非常的低，就必须开发一种钛箔支撑法兰，一方面为了支撑钛箔，另一方面为了冷却钛箔因束流引出产生的热量。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种应用于低能电子加速器且支撑钛箔的电子加速器钛箔支撑法兰结构。

本实用新型解决其技术问题所采取的技术方案是：一种电子加速器钛箔支撑法兰结构，包括法兰本体、位于法兰本体中部的格栅，在所述的法兰本体上设有用于冷却法兰本体的冷却水道，所述的格栅相对于法兰本体的镂空比大于80%。

进一步具体的，所述的格栅的筋板倾斜且其倾斜的角度与电子加速器扫描角度一致。

进一步具体的，所述的冷却水道位于法兰本体的外部并盘绕在法兰本体上。

进一步具体的，所述的冷却水道位于法兰本体的内部并设置于法兰本体的侧边。

进一步具体的，所述的冷却水道包括位于法兰本体内部一侧且贯穿法兰本体的第一水道、位于法兰本体内部另一侧且贯穿法兰本体的第二水道以及位于法兰本体端部连通于第一水道和第二水道的连接管。

进一步具体的，在所述的法兰本体四周均设置用于固定的螺栓孔。

进一步具体的，所述的格栅形成的镂空为圆形、矩形、椭圆形或者异形孔中的一种或者多种。

进一步具体的，在所述的法兰本体的正面以及反面上均设置连续的密封槽。

进一步具体的，所述的法兰本体采用铜质材料加工而成。

进一步具体的，所述的法兰本体与格栅为一体化，所述的格栅采用去料加工而成。

本实用新型的有益效果是：通过格栅的设置起到支撑钛箔同时保证电子束穿透钛箔实现扫描，大于80%的镂空比进一步提高扫描的效率，冷却水道能够对法兰本体进行降温，提高法兰本体的使用寿命；整体结构简单，使用方便，提高低能电子加速器的使用范围。

附图说明

图1是本实用新型第一种实施例的结构示意图；

图2是本实用新型第二种实施例的结构示意图。

图中：1、法兰本体；2、格栅；3、筋板；4、第一水道；5、第二水道；6、连接管；7、螺栓孔；8、镂空；9、密封槽。

具体实施方式