[实用新型]一种冷却管外置式光学镀膜腔体

权利要求书

1.一种冷却管外置式光学镀膜腔体，其特征在于，包括腔体顶板、腔体底板与腔体侧板，腔体顶板和腔体底板水平设置且相对设置，腔体侧板位于腔体顶板与腔体底板之间，腔体侧板垂直设置且呈半圆管状，腔体侧板的一个侧边铰接腔室门；腔体顶板、腔体底板与腔体侧板的外表面固定设置冷却水管，冷却水管上设置增大水管比表面积的分支结构。

2.根据权利要求1所述的冷却管外置式光学镀膜腔体，其特征在于，所述分支结构为相邻冷却水管之间设置的分支水管，分支水管与冷却水管垂直设置，分支水管与冷却水管相通形成分支冷却水路，分支水管与腔体顶板、腔体底板或腔体侧板固定连接。

3.根据权利要求1所述的冷却管外置式光学镀膜腔体，其特征在于，所述分支结构为固定连接在冷却水管两侧的散热块，散热块的导热系数高于腔体顶板、腔体底板及腔体侧板的导热系数，散热块固定连接在腔体顶板、腔体底板或腔体侧板上。

4.根据权利要求1所述的冷却管外置式光学镀膜腔体，其特征在于，所述分支结构为分支冷却室，分支冷却室与冷却水管相通且固定连接在腔体顶板、腔体底板或腔体侧板上。

5.根据权利要求1所述的冷却管外置式光学镀膜腔体，其特征在于，所述分支结构为设置在冷却水管上方与冷却水管相通的分支管，分支管与冷却水管一体成型。

6.根据权利要求2至5任一项所述的冷却管外置式光学镀膜腔体，其特征在于，所述腔室门上设置视窗；所述腔体顶板上设置吊装孔。