[实用新型]一种蒸镀坩埚

权利要求书

1.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括：

内部形成坩埚腔体的坩埚本体，所述坩埚本体中设有位于所述坩埚腔体开口处的边沿部，所述边沿部设置有多个第一连接孔；

坩埚罩，所述坩埚罩的边缘部与所述边沿部搭接，且所述边缘部设有与所述第一连接孔一一对应的第二连接孔；

连接所述第一连接孔和所述第二连接孔的紧固螺栓；

与所述第二连接孔一一对应的垫片，所述垫片包括轴心线与所述第二连接孔中心线相重合的螺丝孔，且每一个所述垫片与所述坩埚罩之间通过锁定机构锁定。

2.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述锁定机构包括相互配合的至少两组定位销孔和定位销。

3.根据权利要求2所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述定位销设置于所述垫片，所述定位销孔设置于所述坩埚罩。

4.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述边沿部设有与所述第一连接孔一一对应的第一凹陷，且沿所述边沿部外侧指向坩埚腔体中心的方向，所述第一凹陷的底面与所述边沿部朝向所述坩埚罩的表面之间的距离逐渐减小。

5.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述蒸镀坩埚还包括与所述紧固螺栓螺纹配合的螺母，且所述螺母朝向所述边沿部的表面与所述边沿部背离所述坩埚罩的表面贴合。

6.根据权利要求5所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述螺母与所述边沿部配合，当所述螺母处于正确位置时，所述螺母的厚度沿所述边沿部外侧指向坩埚腔体中心的方向逐渐增加。

7.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述坩埚罩的边缘部设有与所述第二连接孔一一对应的第二凹陷，且沿所述边缘部外侧指向坩埚罩中心的方向，所述第二凹陷的底面与所述边缘部朝向所述坩埚本体的表面之间的距离逐渐减小。

8.根据权利要求7所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述垫片与所述坩埚罩边缘部接触表面形成与所述边缘部相配合的形状，即当所述垫片处于正确位置时，所述垫片的厚度沿所边缘部外侧指向所述坩埚罩中心的方向逐渐增加，所述垫片另一侧表面为平面。

9.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述坩埚本体采用钛材质。

10.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述垫片采用钛材质。