[实用新型]磁电阻传感器的短路条在掩模板上的取向装置

说明书

本实用新型提供一种基于斜坡的磁电阻传感器的短路条在掩模板上的取向装置，其包括磁电阻传感器和掩模板，磁电阻传感器包括：设置于基板上的斜坡，斜坡包括底面和倾斜表面，且倾斜表面和底面的夹角为斜坡倾斜角α；磁场传感单元，其具有磁易轴和与所述磁易轴垂直的磁敏感轴，磁场传感单元包括形成于所述斜坡的倾斜表面的第二磁电阻条和位于所述第二磁电阻条上并与第二磁电阻条成预定角度的相互平行的若干个第二短路条，第二磁电阻条和第二短路条之间的夹角为γ，掩模板包括位于所述掩模板平面内的第一磁电阻条和与第一磁电阻条成预定角度的相互平行的若干个第一短路条第一磁电阻条和第一短路条之间的夹角设置为β，其中，tan(β)＝tan(γ)cos(α)(1)。

【技术领域】

本实用新型涉及磁电阻传感器技术领域，特别涉及一种基于斜坡的磁电阻传感器的短路条在掩模板上的最优取向设计。

【背景技术】

对于磁电阻传感器，为了探测z轴方向的磁场，通常在斜坡上制备磁电阻传感器。为了使得斜坡上磁电阻传感器的灵敏度最大，掩模板上的短路条取向需要特别设计。

因此，有必要提出一种方案来解决上述问题。

【实用新型内容】

本实用新型的目的之一在于提供一种基于斜坡的磁电阻传感器的短路条在掩模板上的取向装置，其对于不同的斜坡倾斜角度，都可以得到短路条在掩模板上的最优取向。

为了解决上述问题，根据本实用新型的一个方面，本实用新型提供一种基于斜坡的磁电阻传感器的短路条在掩模板上的取向装置，其包括磁电阻传感器和掩模板，所述磁电阻传感器包括：设置于基板上的斜坡，所述斜坡包括底面和倾斜表面，且所述倾斜表面和底面的夹角为斜坡倾斜角α；磁场传感单元，其具有磁易轴和与所述磁易轴垂直的磁敏感轴，所述磁场传感单元包括形成于所述斜坡的倾斜表面的第二磁电阻条和位于所述第二磁电阻条上并与所述第二磁电阻条成预定角度的相互平行的若干个第二短路条，所述第二磁电阻条和第二短路条之间的夹角为γ，所述掩模板包括位于所述掩模板平面内的第一磁电阻条和与所述第一磁电阻条成预定角度的相互平行的若干个第一短路条，所述第一磁电阻条和第一短路条之间的夹角设置为β，其中，tan(β)＝tan(γ)cos(α)(1)。

进一步的，所述掩模板与所述斜坡的底面平行；位于所述倾斜表面的第二磁电阻条和第二短路条是通过所述掩模板内对应的第一磁电阻条和第一短路条形成的。

进一步的，所述磁场传感单元为各向异性磁阻传感单元。

进一步的，所述斜坡为纵长条形，其延伸方向与所述磁易轴方向相同，所述第二磁电阻条为纵长条形，其延伸方向与所述磁易轴方向相同。

进一步的，所述斜坡为梯形横截面，其具有顶面；或，所述斜坡为三角形横截面。

与现有技术相比，本实用新型找到了掩模板平面内的磁电阻条和短路条之间的夹角β、斜坡倾斜表面的磁电阻条和短路条之间的夹角γ、斜坡倾斜角度α之间的关系式，从而对于不同的斜坡倾斜角度α，都可以得到短路条在掩模板上的最优取向。

【附图说明】

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。其中：

图1为本实用新型在一个实施例中的磁电阻传感器的短路条在掩模板上的取向装置的结构示意图；

图2为本实用新型在一个实施例中，当斜坡倾斜表面的短路条取向角一定时，掩模板平面内的短路条取向角随着斜坡倾斜角度的变化关系示意图。

【具体实施方式】

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。