[实用新型]一种单晶硅炉炉盖

说明书

本实用新型公布了一种单晶硅炉炉盖，包括炉盖、密封炉盖的下炉体、设置在炉盖上的配电箱以及设置在炉盖上的提拉机构，提拉机构上设置有提拉头，提拉头伸入炉盖内；所述的炉盖由内壳和外壳构成；外壳上设置有搅拌电机和水管接头，搅拌电机的旋转轴伸入内壳与外壳形成一冷却容腔内，其旋转轴上安装有多个旋转叶轮；外壳和内壳上相对设置有多个隔板，所述外壳上的隔板、内壳上的隔板分别与旋转叶轮形成冷却水的循环通道入口，位于容腔的下端设置有循环出液口，外壳上端设置有气孔。提供一种单晶硅炉炉盖，解决现有炉盖冷却效率低、容易炸炉的问题，该炉盖具有冷却效率高、结晶后的晶体成品率高、节约冷却水、防止炉盖气蚀的优点。

技术领域

本实用新型属于单晶硅制备领域，具体为一种单晶硅炉炉盖。

背景技术

单晶硅，即硅的单晶体，是一种比较活泼的非金属元素，具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等，用高纯度的多晶硅在长晶炉（单晶炉）内拉制而成，纯度要求达到99.9999%，甚至达到99.9999999%以上。

单晶硅炉主要用于生产硅半导体材料和太阳能级硅材料，目前国内主要用于生产太阳能电池的主要材料-单晶硅棒，单晶硅炉主要包括用于生产合成硅材料的机械炉室、电器控制柜和主要的石墨热场系统。设备主要运行原理是通过石墨热场在机械炉室内把硅料熔化成液态，在电器控制柜的自动控制下在主炉室内合成制备凝结成单晶硅棒。

目前，单晶硅炉在拉晶完毕后需要对其进行降温处理，单晶硅的冷却在整个结晶过程起着非常重要作用，直接影响着晶体的形状和内部结构，现有的单晶硅由于密封性好，致使保温效果也好，最终导致降温速度慢，若提前将炉盖打开，炉内大量的热量会喷发出来，存在安全隐患，现有的解决办法均是采用水冷，但冷却水在炉盖内停留的时间较短，冷却水的冷却效率较低，对于高温状态时冷却效率还好，当降至一定温度后，仍采用传统的方式快速的将冷却水流出后，冷却效果不佳，还容易造成气蚀，因此亟需一种改进后的单晶硅炉以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对以上问题，提供一种单晶硅炉炉盖，解决现有炉盖冷却效率低、容易炸炉的问题，该炉盖具有冷却效率高、结晶后的晶体成品率高、节约冷却水、防止炉盖气蚀的优点。

为实现以上目的，本实用新型采用的技术方案是：一种单晶硅炉炉盖，包括炉盖、密封炉盖的下炉体、设置在炉盖上的配电箱以及设置在炉盖上的提拉机构，所述提拉机构上设置有提拉头，所述提拉头伸入炉盖内；所述的炉盖由内壳和外壳构成；所述外壳上设置有搅拌电机和水管接头，所述搅拌电机的旋转轴伸入内壳与外壳形成一冷却容腔内，其旋转轴上安装有多个旋转叶轮；所述的外壳和内壳上相对设置有多个隔板，所述外壳上的隔板、内壳上的隔板分别与旋转叶轮形成冷却水的循环通道入口，位于容腔的下端设置有循环出液口，所述的外壳上端设置有气孔。

进一步的，所述炉盖与下炉体上均开设有U型孔，下炉体上设置有固定件，所述固定件上设置有销轴，所述销轴外套设有连接螺杆，所述连接螺杆螺纹连接在压紧端帽的内螺纹上。

进一步的，所述的压紧端帽直径大于所述U型孔直径。

进一步的，所述压紧端帽上设置有旋转握把。

进一步的，所述的旋转叶轮为圆弧形结构。

进一步的，所述隔板与隔板、旋转叶轮与旋转叶轮之间的距离逐渐增大。

本实用新型的有益效果：本实用新型提供一种单晶硅炉炉盖，解决现有炉盖冷却效率低、容易炸炉的问题，该炉盖具有冷却效率高、结晶后的晶体成品率高、可减少冷却水优点。

1．炉盖采用内外壳设计，在旋转拉晶时，直接将硅棒移至冷却区，通过在冷却区进行降温冷却，实现快速的均匀降温，保证位于冷却区内的硅棒温度值处于一致状态；