[实用新型]一种用于电子回转共振的离子源有效
申请号: | 201820396210.0 | 申请日: | 2018-03-22 |
公开(公告)号: | CN207993799U | 公开(公告)日: | 2018-10-19 |
发明(设计)人: | 郭方准;石晓倩;于荣环;董华军;臧侃 | 申请(专利权)人: | 大连交通大学 |
主分类号: | H01J49/10 | 分类号: | H01J49/10;H01J49/38 |
代理公司: | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人: | 李馨 |
地址: | 116028 辽宁*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 锥形铁 波导管 本实用新型 安装法兰 真空腔室 固体源 离子化 气体源 离子源 共振 回转 电荷态离子 固体源材料 气体源材料 电压端子 施加电压 水冷机构 螺钉 微波源 真空腔 锥形端 固接 馈入 伸入 同轴 冷却 微波 穿过 室内 | ||
1.一种用于电子回转共振的离子源,其特征在于,包括:将微波源的能量馈入真空腔室内的波导管、将需要离子化的气体源材料导入真空腔室的气体源管路、将需要离子化的固体源材料导入真空腔室的固体源管路、锥形铁、偏压盘和冷却所述波导管、锥形铁和偏压盘的水冷机构;
所述锥形铁位于安装法兰和所述偏压盘之间,且所述锥形铁的锥形端靠近所述偏压盘,扁平端靠近所述安装法兰,所述偏压盘通过螺钉固接于所述锥形铁;
所述波导管一端连接微波源,另一端依次穿过安装法兰、所述锥形铁、所述偏压盘伸入真空腔室中,所述波导管与安装法兰固接,所述波导管与所述锥形铁和所述偏压盘之间留有间隙;
所述气体源管路依次穿过所述安装法兰、所述锥形铁、所述偏压盘伸入真空腔室中,所述气体源管路与所述安装法兰和所述锥形铁固接,所述气体源管路与所述偏压盘之间留有间隙;
所述固体源管路依次穿过所述安装法兰、所述锥形铁、所述偏压盘伸入真空腔室中,所述固体源管路与所述安装法兰和所述锥形铁固接,所述固体源管路与所述偏压盘之间留有间隙;
所述安装法兰上还设有真空同轴电压端子,通过导线给偏压盘施加电压。
2.根据权利要求1所述的用于电子回转共振的离子源,其特征在于,所述水冷机构包括冷却水管和绝缘贯通件,所述冷却水管通过绝缘贯通件分成绝缘的前段和后段,所述冷却水管的后段固接于所述安装法兰,所述冷却水管的前段包括穿过锥形铁与所述偏压盘连接的主路和穿过所述锥形铁扁平端开设的凹槽与波导管相连的支路。
3.根据权利要求2所述的用于电子回转共振的离子源,其特征在于,所述真空同轴电压端子与刀口法兰连接,所述导线通过接线柱固定在冷却水管前段。
4.根据权利要求2所述的用于电子回转共振的离子源,其特征在于,所述偏压盘与所述锥形铁连接的螺钉上设有绝缘装置,所述绝缘装置包括分别设于所述偏压盘两侧的绝缘陶瓷Ⅰ和绝缘陶瓷Ⅱ,所述绝缘陶瓷Ⅰ与螺钉的端部之间还设有挡片;
所述冷却水管前段与锥形铁之间设有绝缘装置,所述绝缘装置为绝缘陶瓷Ⅲ,所述绝缘陶瓷Ⅲ通过螺钉紧定。
5.根据权利要求1所述的用于电子回转共振的离子源,其特征在于,所述波导管为矩形波导管。
6.根据权利要求5所述的用于电子回转共振的离子源,其特征在于,所述矩形波导管一侧开设圆形孔。
7.根据权利要求1所述的用于电子回转共振的离子源,其特征在于,所述固体源管路端部还固接有接口法兰。
8.根据权利要求2所述的用于电子回转共振的离子源,其特征在于,所述波导管与所述安装法兰通过真空钎焊固定,所述气体源管路两端与所述安装法兰和所述锥形铁通过氩弧焊固定,所述固体源管路两端与安装法兰和锥形铁通过氩弧焊固定,所述冷却水管与安装法兰通过氩弧焊固定,所述冷却水管与所述锥形铁以及所述波导管之间通过真空钎焊固定。
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