[实用新型]一种翻转式探针卡测定装置

说明书

本实用新型公开了一种翻转式探针卡测定装置，属于探针卡测试技术领域。方案包括若干固定于线路板上的探针，所述线路板固定在翻转块上，所述翻转块的轴心连接翻转驱动装置，所述探针末端通过连线连接端子，端子连接测定设备。本实用新型的有益效果是：载台上被测物位置固定，探针每次翻转停止位置不变，从而保证不同被测物上的测定位置精度，提高工作效率。

技术领域

本实用新型涉及一种基于探针卡的翻转式测试设备，属于探针卡测试技术领域。

背景技术

半导体产品在封装后一般都要通过探针卡进行最终测定，现有的测定手段，在每次测定时，都需要对探针与被测物的相对位置进行核实调试，以保证测定位置精度，降低测定工作效率。

实用新型内容

为解决现有技术存在的缺陷，本实用新型的目的是提供一种测定效率高的翻转式探针卡测定装置。

本实用新型的技术方案是：一种翻转式探针卡测定装置，包括若干固定于线路板上的探针，所述线路板固定在翻转块上，所述翻转块的轴心连接翻转驱动装置，所述探针末端通过连线连接端子，端子连接测定设备。

所述探针通过树脂固定在线路板上。

所述翻转驱动装置为翻转驱动气缸。

所述探针的测试工作端位于载台上方，所述载台上设有限位挡块，所述限位挡块用于对放置在载台上的被测物进行限位。

本实用新型的有益效果是：载台上被测物位置固定，探针每次翻转停止位置不变，从而保证不同被测物上的测定位置精度，提高工作效率。

附图说明

图1为本实用新型工作示意图。

图中附图标记如下：1、探针，2、树脂，3、线路板，4、连线，5、端子，6、翻转块，7、被测物，8、载台，9、轴心，10、限位挡块。

具体实施方式

下面结合附图1对本实用新型做进一步说明：

一种翻转式探针卡测定装置，包括若干固定于线路板3上的探针1，所述线路板3固定在翻转块6上，所述翻转块6的轴心9连接翻转驱动装置，所述探针1末端通过连线4连接端子5，端子5连接测定设备。

所述探针1通过树脂2固定在线路板3上。

所述翻转驱动装置为翻转驱动气缸。

所述探针1的测试工作端位于载台8上方，所述载台8上设有限位挡块10，所述限位挡块10用于对放置在载台8上的被测物7进行限位。

测定前，探针卡在翻转驱动气缸作用下，顺时针转动(如图1所示)，即，探针1的测定工作端与载台8分开，此时，将被测物7放到载台8上，并将被测物7端部紧靠在限位挡块10上，保证被测物7位置一致且固定，翻转驱动气缸驱动探针1逆时针转动，转动形成一定，转动到位后自动停止，探针1停止位置，其工作端接触被测物7的待测定位置，并将测定数据传输至测定设备，测定完毕后，翻转驱动气缸再次动作，探针1离开被测物7，取下测定完的被测物7，更换待测定的被测物7，进行下一测定工作循环。由于载台8上被测物7位置固定，探针1每次翻转停止位置不变，从而保证不同被测物7上的测定位置精度，节省调整时间，提高工作效率。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。