[实用新型]一种升降式单晶硅炉有效
| 申请号： | 201820375585.9 | 申请日： | 2018-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN208121238U | 公开（公告）日： | 2018-11-20 |
| 发明（设计）人： | 罗乾;陈健;陈立民;韩永龙;文淑梅 | 申请（专利权）人： | 阳光能源（青海）有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙) 11548 | 代理人： | 李静 |
| 地址： | 810000 青海*** | 国省代码： | 青海;63 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 单晶硅炉 十字套管 安装座 升降式 下炉体 支撑杆 坩埚 石墨加热器 齿轮部件 上炉盖 内腔 电机 本实用新型 连接杆连接 工作效率 内凹结构 驱动齿条 生产效率 提拉组件 成品率 导流筒 炼制 凹处 单炉 炉具 气缸 下炉 体内 能源 加工 | ||
【权利要求书】：
1.一种升降式单晶硅炉，包括下炉体（1）和上炉盖（2），所述上炉盖（2）上设置有提拉组件（3），下炉体（1）上设置有导流筒（4）；其特征在于，所述的下炉体（1）内有内腔（5），所述内腔（5）内设置有坩埚（6），所述的坩埚（6）为中部内凹结构，其内凹处设置有石墨加热器（7），所述石墨加热器（7）底部设有支撑杆（8），所述支撑杆（8）通过安装座（9）固定于下炉体（1）上，所述支撑杆（8）外套设有十字套管（10），所述十字套管（10）上设置有齿轮部件（11），坩埚（6）通过连接杆（12）连接于十字套管（10）；所述安装座（9）上设置有电机（13），所述电机（13）与齿轮部件（11）通过驱动齿条（14）连接；安装座（9）的底部设置有气缸（15）。
2.根据权利要求1所述一种升降式单晶硅炉，其特征在于，所述的石墨加热器（7）为U型结构，内部设有螺旋盘状的石墨管（71）。
3.根据权利要求1所述一种升降式单晶硅炉，其特征在于，所述的导流筒（4）与坩埚（6）结构相同，位于坩埚（6）上端。
4.根据权利要求1所述一种升降式单晶硅炉，其特征在于，所述下炉体（1）与内腔（5）之间设置有保温层（16）。
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