[实用新型]太阳能电池片电注入工艺温度控制结构有效

专利信息
申请号: 201820371998.X 申请日: 2018-03-19
公开(公告)号: CN208062029U 公开(公告)日: 2018-11-06
发明(设计)人: 张海生;李华超 申请(专利权)人: 苏州巨能图像检测技术有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L31/18
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215300 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 上加热模块 加热模块 温度检测装置 温度控制机构 安装块 电加热 太阳能电池片 温度控制结构 吹气孔 电注入 吹气 本实用新型 均匀设置 上下两端 温度检测 中间层 硅片 气口 加热
【说明书】:

实用新型太阳能电池片电注入工艺温度控制结构,包括对应设置的上加热模块和下加热模块、以及设置于所述上加热模块和下加热模块间的电加热及温度控制机构,所述上加热模块和下加热模块上均设置有温度检测装置;所述电加热及温度控制机构包括控制安装块、设置于所述控制安装块上的温度检测装置,所述控制安装块上均匀设置有若干吹气孔、以及与所述吹气孔配合使用的接入气口;进行硅片加热时,上加热模块、下加热模块、以及电加热及温度控制机构上的温度检测装置进行温度检测,在中间温度高于上下两端的温度时,吹气开启,对中间层开始吹气降温。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池片自动化制备设备技术领域,具体的,其展示一种太阳能电池片电注入工艺温度控制结构。

背景技术

在电注抗光衰工艺中,需要对电池片的硅片进行加热,硅片导热效果较好,在加热小批量硅片时,上下层温度不会产生很大的偏差(±5°),当加热大批量硅片(多于200片)时,上层,下层和中间的温度会产生偏差,此时为了更好的管控硅片的温度时,需对不同地方的硅片进行温度监控,实时掌控温度调节硅片的温度。

因此,有必要提供一种太阳能电池片电注入工艺温度控制结构来实现上述目的。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种太阳能电池片电注入工艺温度控制结构。

技术方案如下:

一种太阳能电池片电注入工艺温度控制结构,包括对应设置的上加热模块和下加热模块、以及设置于所述上加热模块和下加热模块间的电加热及温度控制机构,所述上加热模块和下加热模块上均设置有温度检测装置;

所述电加热及温度控制机构包括控制安装块、设置于所述控制安装块上的温度检测装置,所述控制安装块上均匀设置有若干吹气孔、以及与所述吹气孔配合使用的接入气口;进行硅片加热时,上加热模块、下加热模块、以及电加热及温度控制机构上的温度检测装置进行温度检测,在中间温度高于上下两端的温度时,吹气开启,对中间层开始吹气降温。

进一步的,上加热模块和下加热模块分别对应设置有上吹气机构和下吹气机构。

温度未达到所需要求时,继续通电加热,上吹气机构和下吹气机构开启;降低上下端温度。

进一步的,所述温度检测装置由非接触式的红外传感器构成。

与现有技术相比,本实用新型进行大批量硅片(多于200片)加热时,上层,下层和中间的温度会不会产生偏差,能够良好的实时掌控硅片温度调节。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图之一。

图2是本实用新型的结构示意图之二。

具体实施方式

实施例:

请参阅图1至图2,本实施例展示一种太阳能电池片电注入工艺温度控制结构,包括对应设置的上加热模块1和下加热模块2、以及设置于所述上加热模块1和下加热模块2间的电加热及温度控制机构3,所述上加热模块1和下加热模块2上均设置有温度检测装置4;

所述电加热及温度控制机构3包括控制安装块31、设置于所述控制安装块31上的温度检测装置4,所述控制安装块3上均匀设置有若干吹气孔31、以及与所述吹气孔31配合使用的接入气口32;进行硅片加热时,上加热模块1、下加热模块2、以及电加热及温度控制机构3上的温度检测装置4进行温度检测,在中间温度高于上下两端的温度时,吹气开启,对中间层开始吹气降温。

上加热模块1和下加热模块4分别对应设置有上吹气机构和下吹气机构。

温度未达到所需要求时,继续通电加热,上吹气机构和下吹气机构开启;降低上下端温度。

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