[实用新型]一种用于激光直写曝光机的自动升降的Z轴装置有效
| 申请号： | 201820371322.0 | 申请日： | 2018-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN207992681U | 公开（公告）日： | 2018-10-19 |
| 发明（设计）人： | 张小鹏 | 申请（专利权）人： | 合肥芯碁微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 宋倩;奚华保 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 竖向滑块 底板 楔形滑块 本实用新型 激光直写 竖向运动 水平运动 自动升降 读数头 光栅尺 曝光机 交叉滚珠导轨 负载重力 恒力弹簧 滑动配合 驱动楔形 竖向导轨 依次设置 直线电机 上移动 滑块 气缸 竖直 平衡 转化 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于激光直写曝光机的自动升降的Z轴装置，其特征在于：包括底板、自下而上依次设置在底板上方的楔形滑块和竖向滑块、与竖向滑块的端部滑动配合且与底板相连的竖向导轨、用于驱动楔形滑块水平运动的直线电机、与楔形滑块相连的光栅尺、设置在底板上的读数头以及用于平衡竖向滑块及负载重力的气缸或恒力弹簧；所述竖向滑块与楔形滑块之间以及楔形滑块与底板之间分别设有一交叉滚珠导轨。
2.根据权利要求1所述的用于激光直写曝光机的自动升降的Z轴装置，其特征在于：所述竖向导轨包括垂直连接在底板上方的固定座、设置在固定座上的导轨本体以及设置在竖向滑块上且与导轨本体滑动配合的滑动部。
3.根据权利要求1所述的用于激光直写曝光机的自动升降的Z轴装置，其特征在于：所述直线电机包括设置在底板上的线圈和与楔形滑块相连的磁铁。
4.根据权利要求1所述的用于激光直写曝光机的自动升降的Z轴装置，其特征在于：所述气缸包括设置在底板上的气缸主体和与楔形滑块相连的气缸杆。
5.根据权利要求1所述的用于激光直写曝光机的自动升降的Z轴装置，其特征在于：所述楔形滑块的顶面与底面的夹角为锐角。
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