[实用新型]一种激光直写光刻设备中的双波段高精度机器视觉系统

说明书

本实用新型涉及一种激光直写光刻设备中的双波段高精度机器视觉系统，包括图像采集系统、光电接收系统及图像输出系统；所述图像采集系统的输出端与光电接收器的输入端连接，所述光电接收器的输出端与图像输出系统的输入端连接；所述图像采集系统包括光学镜头，所述光学镜头通过照明光源采集检测物面的图像信息。本实用新型通过切换双波段环形光源的黄光、红外光的亮度比例，实现高对比度的照明；同时配合宽光谱、高精度的双侧远心镜头来保证图像采集的准确性及速度，满足激光直写光刻设备所有基底的高对比度、高精度、高速度的图像采集需求。

技术领域

本实用新型涉及半导体光刻技术领域，具体涉及一种激光直写光刻设备中的双波段高精度机器视觉系统。

背景技术

在激光直写光刻设备中，可通过机器视觉系统采集Mark点进行内层、外层对准，机器视觉系统的性能直接影响激光直写光刻设备的定位效果和产能，是激光直写光刻设备的重要功能模块。图像采集系统是机器视觉系统的核心组成部分，决定了整个视觉系统的采图质量和精度。但目前所采用的激光直写光刻设备中的视觉系统结构复杂，有的照明光源是单波长的，不适用所有检测基底。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种激光直写光刻设备中的双波段高精度机器视觉系统，该系统可根据不同需求控制不同波段的照明光源比例，为激光直写设备提供高对比度、高清晰度、高速的图像采集。

为实现上述目的，本实用新型采用了以下技术方案：

一种激光直写光刻设备中的双波段高精度机器视觉系统，包括图像采集系统、光电接收系统及图像输出系统；

所述图像采集系统的输出端与光电接收器的输入端连接，所述光电接收器的输出端与图像输出系统的输入端连接；

所述图像采集系统包括光学镜头，所述光学镜头通过照明光源采集检测物面的图像信息。

作为上述技术方案的进一步改进：

所述光电接收器采用CCD相机。

所述图像输出系统包括工控机和显示器，所述工控机的输入端与光电接收器的输出端连接，其输出端与显示器的输入端连接。

所述照明光源采用双波段环形光源，所述双波段环形光源由多个两种不同颜色的灯珠呈圆锥状交替构成。

所述灯珠采用黄色灯珠和红外灯珠构成。

所述光学镜头采用双侧远心镜头。

由上述技术方案可知，本实用新型通过切换双波段环形光源的黄光、红外光的亮度比例，实现高对比度的照明；同时配合宽光谱、高精度的双侧远心镜头来保证图像采集的准确性及速度。本实用新型设计合理、实用性高，通过切换照明光源的亮度比例，可实现不同基板、不同印刷材料的图像抓取，满足激光直写光刻设备所有基底的高对比度、高精度、高速度的图像采集需求。

附图说明

图1是本实用新型的系统图；

图2是本实用新型的双波段环形光源的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步说明：

如图1所示，本实施例的激光直写光刻设备中的双波段高精度机器视觉系统，包括包括图像采集系统1、光电接收器2及图像输出系统3；该图像采集系统1用于采集图像，将被测物信息准确成像到光电接收器2上，光电接收器2用于接收图像信息，并将图像信息上传到图像输出系统3，图像输出系,3接收光电接收器2传递的视频信号并进行识别及计算，将被测物的图像呈现于操作人面前。