[实用新型]高精度校正装置有效

专利信息
申请号: 201820370487.6 申请日: 2018-03-19
公开(公告)号: CN207937757U 公开(公告)日: 2018-10-02
发明(设计)人: 董清财 申请(专利权)人: 深圳市盛德鑫自动化设备有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 深圳市金笔知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 44297 代理人: 胡清方;彭友华
地址: 518000 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 导轨 驱动装置 底板 片状物 第二驱动装置 第一驱动装置 精度校正 校正 本实用新型 垂直的 停机
【权利要求书】:

1.一种高精度校正装置,其特征在于:包括底板(10)、第一导轨(20)和第二导轨(30),所述第一导轨(20)和第二导轨(30)相互垂直的固定在所述底板(10)上;在所述第一导轨(20)的一端设有第一驱动装置(40),在所述第一导轨(20)的另一端设有第二驱动装置(50);在所述第二导轨(30)的一端设有第三驱动装置(60),在所述第二导轨(30)的另一端设有第四驱动装置(70);所述第一驱动装置(40)和第二驱动装置(50)沿第一导轨(20)相对运动,所述第三驱动装置(60)和第四驱动装置(70)沿第二导轨(30)相对运动,使被定位的片状物以中心为准定位。

2.根据权利要求1所述的高精度校正装置,其特征在于:所述第一驱动装置(40)包括第一驱动电机(41)、第一滑块(42)和向上设在所述第一滑块(42)上的第一校正杆(43),所述第一驱动电机(41)固定在底板(10)上,所述第一滑块(42)设在第一导轨(20)的一端,所述第一驱动电机(41)驱动所述第一滑块(42)在第一导轨(20)上往复运动。

3.根据权利要求2 所述的高精度校正装置,其特征在于:所述第一驱动电机(41)为步进电机或伺服电机,所述步进电机或伺服电机通过第一丝杆(44)驱动所述第一滑块(42)。

4.根据权利要求2 所述的高精度校正装置,其特征在于:所述第二驱动装置(50)包括第二驱动电机(51)、第二滑块(52)和向上设在所述第二滑块(52)上的第二校正杆(53),所述第二驱动电机(51)固定在底板(10)上,所述第二滑块(52)设在第一导轨(20)另一端,所述第二驱动电机(51)驱动所述第二滑块(52)在第一导轨(20)上往复运动。

5.根据权利要求4 所述的高精度校正装置,其特征在于:所述第二驱动电机(51)为步进电机或伺服电机,所述步进电机或伺服电机通过第二丝杆(54)驱动所述第二滑块(52)。

6.根据权利要求4 所述的高精度校正装置,其特征在于:所述第三驱动装置(60)包括第三驱动电机(61)、第三滑块(62)和向上设在所述第三滑块(62)上的第三校正杆(63),所述第三驱动电机(61)固定在底板(10)上,所述第三滑块(62)设在第二导轨(30)一端,所述第三驱动电机(61)驱动所述第三滑块(62)在第二导轨(30)上往复运动。

7.根据权利要求6 所述的高精度校正装置,其特征在于:所述第三驱动电机(61)为步进电机或伺服电机,所述步进电机或伺服电机通过第三丝杆(64)驱动所述第三滑块(62)。

8.根据权利要求6 所述的高精度校正装置,其特征在于:所述第四驱动装置(70)包括第四驱动电机(71)、第四滑块(72)和向上设在所述第四滑块(72)上的第四校正杆(73),所述第四驱动电机(71)固定在底板(10)上,所述第四滑块(72)设在第二导轨(30)另一端,所述第四驱动电机(71)驱动所述第四滑块(72)在第二导轨(30)上往复运动。

9.根据权利要求8所述的高精度校正装置,其特征在于:所述第四驱动电机(71)为步进电机或伺服电机,所述步进电机或伺服电机通过第四丝杆(74)驱动所述第四滑块(72)。

10.根据权利要求1至9中任何一项权利要求所述的高精度校正装置,其特征在于:所述底板(10)为棱形底板。

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