[实用新型]一种高精度智能化铝合金固溶化退火炉

说明书

本实用新型公开了一种高精度智能化铝合金固溶化退火炉，包括炉体，炉体的底端内壁连接有内胆，内胆的上方安装有与炉体内壁连接的连接柱，连接柱的外圈连接有电磁加热圈，电磁加热圈下方安装有与内胆顶端连接的风机，内胆的顶端开设有通风孔，内胆的底端内壁连接有滑轨，滑轨上滑动连接有第一放置板，第一放置板的顶端设置有第二放置板和第三放置板，且第一放置板、第二放置板和第三放置板之间连接有支撑柱，第一放置板、第二放置板和第三放置板的一侧侧壁沿其长度方向开设有第一通孔。本实用新型能够快速对铝合金钢管进行位置固定，防止铝合金钢管在输送过程中发生位置偏移，而且一次性进行固溶处理的铝合金钢管量多，提高了固溶效率。

技术领域

本实用新型涉及退火炉技术领域，尤其涉及一种高精度智能化铝合金固溶化退火炉。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

在对铝合金钢管进行固溶处理时，传统的退火炉是采用齿轮传动进行送料，由于铝合金钢管在输送过程中没有任何固定装置，容易发生位置偏移，而且每次在退火炉中进行固溶处理的铝合金钢管数量少，导致固溶效率低，并且退火炉中的热量容易从进口处散发出去，导致退火炉内部的加热装置需要一直工作，耗能多，为此，我们提出了一种高精度智能化铝合金固溶化退火炉。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种高精度智能化铝合金固溶化退火炉。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种高精度智能化铝合金固溶化退火炉，包括炉体，所述炉体的底端内壁连接有内胆，内胆的上方安装有与炉体内壁连接的连接柱，连接柱的外圈连接有电磁加热圈，电磁加热圈下方安装有与内胆顶端连接的风机，内胆的顶端开设有通风孔，内胆的底端内壁连接有滑轨，滑轨上滑动连接有第一放置板，第一放置板的顶端设置有第二放置板和第三放置板，且第一放置板、第二放置板和第三放置板之间连接有支撑柱，第一放置板、第二放置板和第三放置板的一侧侧壁沿其长度方向开设有第一通孔，第一通孔的顶端和底端侧壁开设有第二通孔，第一通孔的侧壁连接有对称设置的伸缩杆，伸缩杆的另一端焊接有压板，压板的一侧侧壁焊接有第一推板，炉体的一侧外壁沿竖直方向开设有凹槽，凹槽的一侧侧壁开设有滑槽，滑槽上滑动连接有滑块，滑块远离滑槽的一端焊接有垂直设置的挡板，滑块的一侧侧壁焊接有第二推板，第二推板远离滑块的一端延伸至凹槽的外部连接有插销，炉体的一侧外壁连接有控制箱，控制箱的内部设置有单片机，内胆的一侧内壁连接有温度传感器。

优选的，所述伸缩杆由第一连杆、第二连杆和罩筒组成，罩筒底端侧壁连接有第二连杆，第二连杆内部滑动连接有第一连杆，且第一连杆位于罩筒外部，所述罩筒与压板之间连接有弹簧。

优选的，所述压板的竖截面为弧形，且压板在第一通孔内滑动设置。

优选的，所述炉体的一侧侧壁沿竖直方向开设有第三通孔，第三通孔与凹槽内部连通，且第二推板与第三通孔滑动连接。

优选的，所述炉体的一侧侧壁沿其长度方向开设有对称设置的插孔，且插孔与插销卡接。

优选的，所述单片机的输入端连接有温度传感器，所述单片机的输出端连接有风机和电磁加热圈。

优选的，所述第一放置板、第二放置板和第三放置板之间平行设置。

本实用新型的有益效果：