[实用新型]隔离阀结构

说明书

本实用新型的隔离阀结构，至少包含第一本体及第二本体；其中第一本体具有至少二个与阀室空间相通的管路接口；所述第二本体固设于该第一本体的阀室空间中，并由第二本体外部与第一本体间形成第一阀室，而该第二本体内部形成有具预定容积的第二阀室，且第二阀室与管路接口相通，第二本体设有气道阀及气流通道，该气道阀二端分别轴设第一阀瓣及第二阀瓣，该第一阀室与第二阀室间藉由气流通道相连通，气流通道由气道阀连通管路接口，该第二阀瓣于该气道阀内活动，以控制气流通道与管路接口连通与否。从而使第一本体的内部空间区隔为相通的第一、第二阀室，有助于简化整体结构，故有效降低材料、加工成本，有助于朝向轻量化设计的隔离阀结构。

技术领域

本实用新型有关一种应用在真空设备的隔离阀结构，尤指一种不需外接阀室，可直接于隔离阀本体内部区隔第一阀室及第二阀室，并确实让隔离阀其中一端所接续的空间保持在负压状态，防止大气压力因真空泵突然故障而逆流，以及当另一端所接续的真空泵运作时，可以加快到达负压状态的隔离阀结构。

背景技术

在现代许多高精密度的产品(例如半导体、硬碟机、镜片等)的制造过程当中，某些加工步骤必需使用程度不一的真空才能制造；又，在实验室和工厂中用以制造真空的方法主要是利用真空泵将密闭空间中的空气抽出，使该空间保持在负压状态，亦即到某种程度的真空。

按，一般半导体元件、液晶显示器、太阳能电池，或其他的基板制程中，通常以数个不同腔室链接进行组合配置。在制程中，基板可在各腔室间往来传送进行不同制程的加工，而各腔室中必须维持特定的温度或压力状态，例如真空，因此在各腔室之间会以可操作开启与密封的阀室结构链接，故阀室结构具有阀门以密封腔室的开口。

由于，腔室间的环境条件不同，因此阀室结构需要有相当好的密封性，以保持各腔体的操作环境，在一般的阀室结构中，由于因应待加工品至程需要，需要扩充阀室的空间，因此通常于阀室结构再外接一具预定容积空间的结构体。

然，此种结构型态会导致当配合装设于抽真空器具时，造成该抽真空器具整体的设置空间增加，相对减少该抽真空器具放置、使用空间，同时组接处数量的增加也徒增可能漏气的困扰，因而降低使用的便利性，就实用面而言，无法满足使用者多元的使用需求。

实用新型内容

本实用新型所解决的技术问题即在提供一种不需外接阀室，可直接于隔离阀本体内部区隔第一阀室及第二阀室，并可有效降低材料、加工成本，以及有助于朝向轻量化设计的隔离阀结构。

本实用新型所采用的技术手段如下所述。

本实用新型的隔离阀结构，其至少包含：一第一本体及一第二本体；其中，而该第一本体外表面及内表面设一第一氧化层，该第一氧化层外设一第一硬化层，并在内表面于该第一硬化层相对该第一氧化层另侧设一第一平滑层，以及第二本体于外表面及内表面设一第二氧化层，该第二氧化层外设一第二硬化层，及该第二硬化层相对该第二氧化层另侧设一第二平滑层，第一本体具有至少两个与阀室空间相通的管路接口；所述第二本体固设于该第一本体的阀室空间中，并由第二本体外部与第一本体间形成一第一阀室，而该第二本体由环壁围设内部形成有一具预定容积的一第二阀室，且第二阀室与一管路接口相通，第二本体设有一气道阀及气流通道，该气道阀二端分别轴设一第一阀瓣及一第二阀瓣，该第一阀室与第二阀室间藉由气流通道可相连通，以及气流通道可由气道阀连通管路接口，该第二阀瓣可于该气道阀内活动，以控制气流通道与一管路接口连通与否。

据以实施时，该第一本体一侧设一端盖以盖合，而该端盖相对该第一本体另侧具一第二管路接口，且该第一本体于第二管路接口另侧具一第一管路接口，且由第一阀瓣控制第二阀室与第二管路接口相通与否；以及，该第二本体于气道阀外部连结一架盘，且架盘与第二本体连结，且该架盘设有复数凸柱，而第一阀瓣可抵设于该凸柱。