[实用新型]一种真空镀膜机快速冷却装置

说明书

本实用新型公开一种真空镀膜机快速冷却装置，包括：镀膜机腔体、散热防护板及设于所述镀膜机腔体与散热防护板之间的散热组件，若干散热组件围绕着镀膜机腔体设置，每一散热组件包括：散热架、第一散热水管以及第二散热水管，散热架呈“工”字型，其两侧形成安装槽，第一散热水管安装于散热架一侧的安装槽中，第二散热水管安装于散热架另一侧的安装槽中。本实用新型通过采用水冷方式对镀膜机腔体进行冷却，冷却效果好，并且在一个散热组件中设置两散热水管，且两散热水管中的水流方向相反，能够使得整个镀膜机腔体的温度保持一致，利于散热；散热防护板除了辅助散热的同时还能起到有效的防护保护作用，防止内部的散热组件遭到破坏。

技术领域

本实用新型涉及一种镀膜冷却设备，尤其涉及一种真空镀膜机快速冷却装置。

背景技术

目前，真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，主要分成蒸发和溅射两种。镀膜机的使用能够有效地增加镀膜效率，使得工业生产的效率可以得到有效的提高，然而正空镀膜机在使用时由于高频率的运作会产生较多的热量，这样对设备的安全性会产生较大的影响，现阶段用于真空镀膜机的冷却装置在使用时能够起到基本的降温冷却作用，然而在实际使用在仍然存在一些方面的技术不足和缺陷。现有真空镀膜机冷却设备存在冷却效果不够好现象。

因此，现有技术存在缺陷，需要改进。

实用新型内容

本实用新型的目的是克服现有技术的不足，提供一种真空镀膜机快速冷却装置。

本实用新型的技术方案如下：本实用新型提供一种真空镀膜机快速冷却装置，包括：镀膜机腔体、设于所述镀膜机腔体上的散热防护板、以及设于所述镀膜机腔体与散热防护板之间的若干散热组件，若干散热组件围绕着所述镀膜机腔体设置，所述散热组件底部与所述镀膜机腔体表面紧密贴合在一起，每一所述散热组件包括：散热架、第一散热水管以及第二散热水管，所述散热架呈“工”字型，其两侧形成安装槽，第一散热水管安装于所述散热架一侧的安装槽中，第二散热水管安装于所述散热架另一侧的安装槽中。

所述第一散热水管与第二散热水管的水流方向相反，所述第一散热水管一端设有进水口，另一端设有出水口，所述第二散热水管一端设有出水口，另一端设有进水口。

所述第一散热水管、第二散热水管与所述散热架之间填充有导热胶。

所述散热防护板包围若干散热组件设置，所述散热防护板对应所述散热组件处开设有散热窗口。

所述散热架顶部设有散热鳍片组件，所述散热鳍片组件贯穿所述散热窗口。

所述散热鳍片组件包括底板以及形成于所述底板上的若干散热鳍片，所述底板与所述散热架之间设有导热胶。

所述散热架的材质为铜。

所述散热防护板的材质为铝合金。

采用上述方案，本实用新型提供一种真空镀膜机快速冷却装置，采用水冷方式对镀膜机腔体进行冷却，冷却效果好，并且在一个散热组件中设置两散热水管，且两散热水管中的水流方向相反，能够使得整个镀膜机腔体的温度保持一致，利于散热，散热性能优于传统的冷却装置；还设有散热防护板，散热防护板除了辅助散热的同时还能起到有效的防护保护作用，防止内部的散热组件遭到破坏；散热防护板上还可以开设散热窗口来提升散热效果，还可以在散热架上设置贯穿散热窗口的散热鳍片组件来提升散热效果。

附图说明

图1为本实用新型真空镀膜机快速冷却装置一实施例的结构示意图。

图2为本实用新型真空镀膜机快速冷却装置另一实施例的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例，对本实用新型进行详细说明。