[实用新型]一种用于扫描隧道显微镜的信号检测装置有效
| 申请号: | 201820326753.5 | 申请日: | 2018-03-12 |
| 公开(公告)号: | CN208043855U | 公开(公告)日: | 2018-11-02 |
| 发明(设计)人: | 韩雄;都有为;钱锋;王矛宏;王辰成 | 申请(专利权)人: | 苏州飞时曼精密仪器有限公司 |
| 主分类号: | G01Q60/10 | 分类号: | G01Q60/10 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 扫描隧道显微镜 本实用新型 信号检测装置 容纳孔 探针架 电磁信号干扰 金属屏蔽壳体 定位装置 观测装置 光学观察 使用效率 剪切 针尖 屏蔽 内嵌 探针 侧面 外部 | ||
1.一种用于扫描隧道显微镜的信号检测装置,包括STM头部和观测装置,其特征在于:STM头部上开有容纳孔,容纳孔内嵌插有探针架,位于STM头部内的探针架上安装有探针,所述STM头部外部为金属屏蔽壳体。
2.根据权利要求1所述一种用于扫描隧道显微镜的信号检测装置,其特征在于:所述探针架一端安装有绝缘套,绝缘套内嵌插有金属套管,探针一端嵌插在金属套管内,探针另一端位于金属套管外部。
3.根据权利要求2所述一种用于扫描隧道显微镜的信号检测装置,其特征在于:金属套管与绝缘套之间通过胶水固定连接。
4.根据权利要求1所述一种用于扫描隧道显微镜的信号检测装置,其特征在于:所述STM头部内设有信号处理电路和弹簧触点,探针架安装在STM头部内时,弹簧触点分别与探针和信号处理电路建立电连接。
5.根据权利要求4所述一种用于扫描隧道显微镜的信号检测装置,其特征在于:所述弹簧触点安装在绝缘板上,探针架安装在STM头部内时,与弹簧触点位置对应处具有导电触片,导电触片通过导线与探针建立电连接。
6.根据权利要求4所述一种用于扫描隧道显微镜的信号检测装置,其特征在于:信号处理电路安装在线路板上,线路板上设有接口连接器。
7.根据权利要求1所述一种用于扫描隧道显微镜的信号检测装置,其特征在于:所述观测装置包括CCD观察装置,CCD观察装置的一端伸入STM头部内探针位置处。
8.根据权利要求1所述一种用于扫描隧道显微镜的信号检测装置,其特征在于:所述STM头部的上具有取放开口,取放开口的位置与容纳孔相对布置在STM头部的两侧。
9.根据权利要求8所述一种用于扫描隧道显微镜的信号检测装置,其特征在于:所述位于容纳孔侧的STM头部上帖富有金属盖板,取放开口的开口端设有金属屏蔽盖。
10.根据权利要求9所述一种用于扫描隧道显微镜的信号检测装置,其特征在于:探针架和金属屏蔽板均通过磁钢与STM头部固定连接。
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