[实用新型]一种单晶炉炉体升降装置

说明书

本实用新型公布了一种单晶炉炉体升降装置，包括下炉，炉盖以及设置于炉盖上的上炉，下炉与底座密封连接，底座上方的下炉内设置有加热器，以及坩埚；下炉外壁固定设置有丝杆座，丝杆座上贯穿设置有丝杆，丝杆为相对设置的两个；丝杆下端延伸至与基座可旋转连接；丝杆的下端通过皮带传动件与电机连接；下炉与炉盖之间设置有连接座；连接座上部设置由于与炉盖下端相配合的台阶，连接座底部设置有截面为梯形的环槽，下炉的顶部设置有与环槽配合斜边；连接座的内壁设置有向炉体内部延伸的延伸部，其截面为三角形；下炉与底座之间设置有定位环。本实用新型的目的，提供一种单晶炉炉体升降装置，结构合理，受力好，运动平稳，精准定位，维护方便。

技术领域

本实用新型属于单晶硅生产领域，具体为一种单晶炉炉体升降装置。

背景技术

单晶炉是通过直拉法生产单晶硅的制造设备，使硅料在一定温度、压力、浓度、介质、pH等条件下由气相、液相、固相转化，形成特定线度尺寸晶体的过程。

单晶硅，即硅的单晶体，是一种比较活泼的非金属元素，具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等，用高纯度的多晶硅在长晶炉（单晶炉）内拉制而成，纯度要求达到99.999%，甚至达到99.99999%以上。

单晶炉一般主要包括炉底、下炉体、炉盖、 上炉体、隔离阀等部分上下炉连接时，一般采用简单的台阶止口，受力较差，上下炉反复升降磨损后修复麻烦。并且对炉体来说，升降系统要求很高的安全性和可靠度，运动平稳。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对以上问题，提供一种单晶炉炉体升降装置，结构合理，受力好，运动平稳，精准定位，维护方便。

为实现以上目的，本实用新型采用的技术方案是：一种单晶炉炉体升降装置，包括下炉，炉盖以及设置于炉盖上的上炉，所述下炉与底座密封连接，底座上方的下炉内设置有加热器，以及坩埚；所述下炉外壁固定设置有丝杆座，所述丝杆座上贯穿设置有丝杆，所述丝杆为相对设置的两个；所述丝杆下端延伸至与基座可旋转连接；所述丝杆的下端通过皮带传动件与电机连接；所述下炉与炉盖之间设置有连接座；所述连接座上部设置由于与炉盖下端相配合的台阶，所述连接座底部设置有截面为梯形的环槽，所述下炉的顶部设置有与环槽配合斜边；所述连接座的内壁设置有向炉体内部延伸的延伸部，其截面为三角形；所述下炉与底座之间设置有定位环。

进一步的，所述皮带传动件包括传动皮带轮，所述传动皮带轮分别与相对设置的两个丝杆下部的从动皮带轮连接；所述传动皮带轮下端通过蜗轮蜗杆与驱动电机连接。

进一步的，所述延伸部上表面设置有胶层。

进一步的，所述定位环可拆卸的嵌入设置于底座上；所述定位环为U型，且定位环开口处的内凹面上边角处设置有密封胶条形成的凸边。

进一步的，加热器为双层结构，包括圆筒状内层，螺旋状外层。

本实用新型的有益效果：一种单晶炉炉体升降装置，结构合理，受力好，运动平稳，精准定位，维护方便；连接座不但提高了下炉与炉盖受力稳定性，也利于更换，在磨损替换即可连接座即可；此外，为了满足下炉与底座较高的平稳度和装配精度，在定位环开口处的内凹面上边角处设置有密封胶条形成的凸边，配合下炉底部末端的倒角，不仅在下降装配时可以避免与底座的刚性接触，还可以在完成安装后实现密封作用；加热器采用双层结构，锁热效果好。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

图2为图1中A处局部放大示意图。

图3为图1中B处局部放大示意图。